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17-02-2021 дата публикации

DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILM AND METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM USING THE SAME

Номер: KR102215755B1
Автор: 강성철, 김태형, 조병하, 조수일
Принадлежит: 주성엔지니어링(주)

... 본 발명은 박막증착장치 및 박막증착방법에 관한 것으로서, 다량의 소스가스를 반응챔버 내에 안정적으로 공급하여 단차피복성(step coverage)을 향상시킨 박막증착장치 및 박막증착방법에 관한 것이다. 본 발명은, 액상의 소스물질을 저장하는 소스물질 저장부; 상기 소스물질 저장부의 하류에 연결되고, 하류에서 배기수단을 구비하며, 상기 액상의 소스물질을 기상의 소스가스로 기화시키는 기화부; 상기 기화부의 하류에 연결되는 반응챔버;를 포함하고, 상기 기화부는, 적어도 하나 이상의 소스가스 공급관을 통하여 상기 반응챔버 내부로 상기 소스가스를 공급하며 상기 소스가스 공급관과 상기 소스물질 저장부 사이에서 서로 병렬로 배치되는 복수 개의 기화기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치에 관한 것이다.

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Номер записи: 1
31-08-2017 дата публикации

기화기를 갖는 증착장치 및 증착방법

Номер: KR0101773038B1
Автор: 조병하, 서정화, 김태형, 서동균, 조수일
Принадлежит: 주성엔지니어링(주)

... 본 발명은 액상의 원료 물질을 기화시켜 피처리물 상에 증착하기 위한 기화기를 갖는 증착장치 및 증착방법에 관한 것이다. 상기 기화기를 갖는 증착장치는, 원료 물질을 공급하는 원료물질 공급부; 상기 원료물질 공급부로부터 원료 물질을 공급받아 기화시키는 기화기; 상기 기화기와 연결되어, 기화된 원료 물질이 피처리물 상에 증착되는 반응공간을 제공하는 반응 챔버; 상기 기화기와 상기 반응 챔버 사이의 연결배관에 잔류하는 이물질을 제거하기 위해 상기 연결배관으로 퍼지 가스를 공급하는 제1 퍼지가스 공급부; 상기 기화기와 연결되어, 상기 연결배관으로 공급된 퍼지 가스를 펌핑하는 배기장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 따르면, 제1 퍼지가스 공급부에 의해 퍼지 가스가 연결배관으로 공급되어, 연결배관 및 기화기 내의 이물질들을 제거하므로, 증착장치 내에 이물질들이 존재하여 공정상의 문제를 야기하는 것을 미연에 방지할 수 있다.

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Номер записи: 2
31-01-2018 дата публикации

가스공급장치 및 이를 포함하는 기판처리장치

Номер: KR0101822996B1
Автор: 조병하, 김종식, 서동균, 정훈, 조수일
Принадлежит: 주성엔지니어링(주)

... 본 발명의 일 측면은 복수의 인젝터부가 회전하지 않으면서도 회전형 가스공급장치와 거의 동일한 효과를 얻을 수 있는 가스공급장치를 제공하는 것에 있으며, 이러한 발명의 실시예에 따른 가스공급장치는 챔버에 고정되는 본체부와, 본체부의 상부에 구비되어 서로 다른 복수의 공정가스와 각각 독립적으로 접속되는 복수의 공정가스 도입부와, 본체부의 하부에 접속되어 복수의 공정가스 도입부와 독립적으로 접속되는 다 분류의 홀 패턴이 형성된 코어부와, 다 분류의 홀 패턴에 독립적으로 각각 접속되어 방사형으로 배치되는 복수의 인젝터부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 3
25-01-2017 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING FROZEN NOODLE

Номер: KR1020170009210A
Автор: PARK, JAE SUNG, CHO, SOO IL, OH, JEONG KYUN, KANG, HYUN HO
Принадлежит:

The present invention relates to a method for manufacturing frozen noodles. The method includes the steps of: putting boiled noodles in a tray to freeze the noodles; separating the noodles from the tray in a state in which the tray is upside down so that a relatively flat surface, which faces a bottom surface of the tray, faces upward and an uneven surface, which is opposite to the flat surface and is relatively non-flat, faces downward; transferring the noodles separated to allow the uneven surface to face downward while the noodles are reversed so that the flat surface faces downward; and wrapping the transferred noodles. Since the noodles are reversed and transferred in the state in which the flat surface is supported, the noodles are stably transferred. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) Start (BB) End (S110) Freeze noodles (S120) Separate the noodles from tray (S130) Transfer the noodles while revered (S140) Arrange to stand the noodles (S150) Transfer the arranged noodles (S160) Wrap the noodles ...

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Номер записи: 4
28-05-2015 дата публикации

DEVICE FOR DEPOSITING THIN FILM AND METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM USING SAME

Номер: KR1020150056993A
Автор: KANG, SUNG CHUL, KIM, TAE HYUNG, CHO, BYOUNG HA, JO, SU IL
Принадлежит:

The present invention relates to a device for depositing thin film and a method for depositing thin film using the same to improve step coverage by guaranteeing stable source gas provision into a reaction chamber. It includes a source material storage part to store the liquid type source material; an evaporation part to be connected to the lower side of the source material storage part, to prepare an exhausting method in the lower side and to gasify the liquid type source material to a source gas; and the reaction chamber to be connected to the lower side of the evaporation part. The above evaporation part provides the source gas in the reaction chamber through at least more than one source gas providing a pipe and includes multiple carburetors arranged in parallel between the source gas providing pipe and the source material storage part. COPYRIGHT KIPO 2015 (100) Source material storage unit (211) First carburetor (221) Second carburetor (231) Third carburetor (241) Fourth carburetor ...

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Номер записи: 5