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24-03-2023 дата публикации

다중 펄싱을 이용한 플라즈마 균일도 제어 시스템 및 그 제어 방법

Номер: KR20230041463A
Автор: 허성렬
Принадлежит:

... 일 실시예에 따른 플라즈마 균일도 제어 시스템은, 펄스 전력을 플라즈마 원료 가스에 인가하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부, 플라즈마 발생부에 연결되어 있고, 플라즈마 발생부에서 생성된 플라즈마를 전달받아 수용하는 이온 공급부, 이온 공급부의 내부 또는 아래에 위치하며, 서로 전기적으로 독립되어 있으며, 개별적으로 전압이 인가되는 복수의 분할 전극들, 그리고 이온 공급부에서 복수의 분할 전극들 각각으로 이동하는 이온의 공급량을 제어하는 제어부를 포함한다.

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Номер записи: 1
16-12-2024 дата публикации

금속 이물질 감지가 가능한 송신코일, 금속 이물질 감지시스템 및 금속 이물질 감지방법

Номер: KR102743175B1
Автор: 조요한, 박일호, 안승영, 우성호, 허성렬, 이현수
Принадлежит: (주)에프티글로벌

... 본 발명은 송신 코일을 감을 때, 감긴 코일의 간격이 4개의 면에서 서로 다르게 하여 어떤 면에서 금속 이물질이 존재하는 가를 판단할 수 있도록 하는 금속 이물질 감지가 가능한 송신코일을 제안한다.

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Номер записи: 2
09-08-2018 дата публикации

CONTINUOUS NEGATIVE ION SUPPLY SYSTEM USING MULTI-PULSE PLASMA AND METHOD THEREOF

Номер: KR101886755B1
Автор: HUH SUNGRYUL
Принадлежит: KOREA ATOMIC ENERGY RESEARCH INSTITUTE

Disclosed is a continuous negative ion supply system using multi-pulse plasma and a method thereof. According to the present invention, the continuous negative ion supply system includes: multiple plasma generation units which receive negatively charged gas and apply pulse power to the negatively charged gas to generate plasma; a negative ion supply unit which is individually connected to the plasma generation units to receive and store the plasma; and a control unit which is connected to the plasma generation units, individually controls the properties of the pulse power being supplied to the individual plasma generation units individually, and controls the phase difference in the pulse power being supplied to the individual plasma generation units when one of the individual plasma generation units is in an active-glow state to make the remaining ones of the individual plasma generation units be in an after-glow state. The plasma generation units generate plasma in accordance with the ...

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Номер записи: 3
28-05-2015 дата публикации

METHOD FOR HYDROGENATING SILANE COMPOUND

Номер: KR1020150057098A
Автор: KIM, KYUNG YEOL, KIM, DEOK YUN, KIM, SANG HOON, KIM, GON HO, HUJ, SUNG RYUL, KIM, NAM KYUN
Принадлежит:

In the present invention, provided is a method for hydrogenating silane compounds, comprising the steps of supplying hydrogen to a low-temperature plasma reaction apparatus and accordingly generating low-temperature plasmas including hydrogen ions, electrons and hydrogen atom radicals; supplying raw materials including the silane compound to the low-temperature plasma reaction apparatus; and making the silane compound, the hydrogen ion, the electrons and the hydrogen atom radical have the hydrogenating reaction. COPYRIGHT KIPO 2015 (AA,BB) Hydrogen (CC) Silane compound ...

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Номер записи: 4
08-04-2024 дата публикации

비활성화된 송신 코일의 결합 계수를 산출하는 무선전력 전송 시스템 및 그 방법

Номер: KR102655186B1
Автор: 안승영, 허성렬, 이범선, 최세민, 박범진, 박동렬
Принадлежит: 한국과학기술원, 경희대학교 산학협력단

... 본 발명은 무선전력 전송 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 일실시예에 따른 무선전력 전송 시스템은 복수의 송신 코일 중 적어도 하나의 활성화된 코일의 입력 전류와, 복수의 송신 코일 중 적어도 하나의 비활성화된 코일의 입력 전류를 모니터링하는 전류 모니터링부와, 입력 전류의 모니터링의 결과에 기초하여 비활성화된 코일의 결합 계수의 비율을 산출하는 결합 계수 산출부 및 비활성화된 코일의 결합 계수의 비율에 기초하여, 비활성화된 코일에 대한 활성화 여부를 결정하는 코일 제어부를 포함한다.

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Номер записи: 5
23-05-2019 дата публикации

SYSTEM AND METHOD FOR CONTINUOUSLY SUPPLYING ANIONS BY USING MULTI-PULSE PLASMA

Номер: WO2019098554A1
Автор: HUH, Sungryul
Принадлежит:

The present invention provides a system and a method for continuously supplying anions by using multi-pulse plasma. The system comprises: multiple plasma generating portions which receive an electronegative gas and applies pulse power to the electronegative gas, thereby generating plasma; an anion supply portion connected to each of the plasma generating portions so as to receive and contain the plasma; and a control portion connected to the multiple plasma generating portions so as to control characteristics of the pulse power supplied to the plasma generating portions, respectively, the control portion controlling the phase difference between the pulse power such that, when one of the plasma generating portions is in an active-glow state, the remaining plasma generating portions are in an after-glow state. The plasma generating portions generate plasma alternately according to the phase difference of the pulse power. When the amount of anions supplied from one plasma generating portion ...

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Номер записи: 6
23-11-2022 дата публикации

복수의 송신 코일 중 적어도 하나의 송신 코일을 선택적으로 구동하는 무선 전력 전송 시스템 및 그 동작 방법

Номер: KR102468936B1
Автор: 안승영, 이범선, 김종욱, 박범진, 박동렬, 허성렬
Принадлежит: 한국과학기술원, 경희대학교 산학협력단

... 본 발명은 복수의 송신 코일을 포함하는 송신부에서 적어도 하나의 송신 코일을 선택적으로 구동하는 무선 전력 전송 시스템 및 그 동작 방법에 관한 것으로, 구체적으로, 복수의 송신 코일 상에 수신 코일이 위치할 경우 복수의 송신 코일 각각과 송신 코일 사이의 결합 계수를 확인하고, 확인된 결합 계수에 기반하여 복수의 송신 코일 중 적어도 하나의 송신 코일을 선택적으로 구동하는 기술에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예에 따르면 무선 전력 전송 시스템은 상기 복수의 송신 코일을 포함하는 송신부, 상기 복수의 송신 코일 중 적어도 하나의 송신 코일로부터 무선전력을 수신하는 수신 코일을 포함하는 수신부 및 상기 복수의 송신 코일 각각과 상기 수신 코일 사이의 결합 계수를 확인하고, 상기 확인된 결합 계수에 기반하여 상기 적어도 하나의 송신 코일을 선택적으로 구동하는 제어부를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 7
28-10-2015 дата публикации

METHOD FOR HYDROGENATING SILANE COMPOUND

Номер: KR0101564146B1
Автор: 김경열, 김덕윤, 김상훈, 김곤호, 허성렬, 김남균
Принадлежит: 오씨아이 주식회사

... 본 발명은 수소를 저온 플라즈마 반응 장치에 공급하여, 수소 이온, 전자 및 수소 원자 라디칼을 포함하는 저온 플라즈마를 발생시키는 단계; 상기 저온 플라즈마 반응 장치에 실란 화합물을 포함하는 원료를 공급하는 단계; 및 상기 실란 화합물이 상기 수소 이온, 전자 및 상기 수소 원자 라디칼과 수소화 반응하는 단계를 포함하는 실란 화합물을 수소화 반응시키는 방법을 제공한다.

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Номер записи: 8