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20-05-2024 дата публикации

NF3 가스 생산 설비의 정비 자동화 시스템 및 방법

Номер: KR20240068990A
Автор: 반재만, 이창근
Принадлежит:

NF3 가스 생산 설비인 CELL Body의 메인 상판 및 개별 상판을 분리하여 정비하는 정비 자동화 시스템 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 NF3 가스 생산 설비의 정비 자동화 시스템은, NF3 가스 생산 설비를 적재하여 정비 공간으로 운송하는 무인반송차량; 정비 공간 내 기설정된 지점에 도달한 NF3 가스 생산 설비의 개별 상판 분리 작업을 수행하는 제1 다관절 로봇; 개별 상판이 분리된 NF3 가스 생산 설비의 메인 상판 분리 작업을 수행하는 복수의 제2 다관절 로봇; 및 제1 다관절 로봇 및 제2 다관절 로봇을 제어하는 제어 장치;를 포함한다. 이에 의해, NF3 가스 생산 설비인 CELL Body를 정비 공간으로 운송하는 무인 운송 작업 및 정비 공간에서의 정비 작업 등을 자동으로 수행함으로써, 정비 작업의 작업 생산성을 향상시키고, 작업 중 작업자의 불산 노출 위험을 최소화할 수 있다.

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20-05-2024 дата публикации

NF3 가스 생산 설비 내 이물질 제거 시스템 및 방법

Номер: KR20240069003A
Автор: 반재만, 이창근
Принадлежит:

NF3 가스 생산 설비인 CELL Body 내 이물질을 분쇄 및 세척 작업을 거친 뒤 바닥에 침체된 니켈을 배출하는 시스템 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 NF3 가스 생산 설비 내 이물질 제거 시스템은, NF3 가스 생산 설비를 적재하여 세척 공간으로 운송하는 무인반송차량; 세척 공간의 입구에 설치된 자동문을 제어하여, 무인반송차량이 세척 공간의 입구에 도착하면 자동문이 개방되도록 하는 자동문 제어부; NF3 가스 생산 설비의 세척 공간 내 입장 여부를 감지하는 센서부; NF3 가스 생산 설비를 향해 고온 및 고압의 응축수를 분사하여 NF3 가스 생산 설비의 슬러지를 분쇄 및 제거하는 세척부; 및 분사된 응축수와 NF3 가스 생산 설비에서 분리된 슬러지를 배출하는 배출부;를 포함한다. 이에 의해, NF3 가스 생산 설비인 CELL Body를 세척 공간으로 운송하는 무인 운송 작업 및 세척 공간에 입장하여 세척 작업, 슬러지 제거 및 배출 작업 등을 자동으로 수행함으로써, 설비 세척 작업의 작업 생산성을 향상시키고, 작업자의 불산 노출 위험을 예방할 수 있다.

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13-08-2015 дата публикации

MULTI RESOLUTION MODELING (MRM) METHOD FOR INTERACTION BETWEEN MODELS WITH DIFFERENT RESOLUTIONS

Номер: KR1020150092475A
Автор: BAN, JAE MAN
Принадлежит:

The present invention relates to a multi resolution modeling (MRM) method for interlink between models with different resolutions, which applies an MRM module for interlink between a high resolution model and a low resolution model, having different resolutions, wherein the MRM module includes: a receiving unit receiving interlink information; a transmitting unit transmitting the interlink information; and an MRM core performing a disintegration and an integration operation of the interlink information for the MRM. The MRM core includes: an information analysis unit determining whether the received interlink information is object information or interaction information; an interaction controller performing the disintegration or the integration operation for the interaction information based on a rule in an interaction rule; a mapping controller performing the disintegration or the integration operation for the object information based on a rule in a mapping rule; a high resolution object ...

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19-03-2025 дата публикации

CMP Pad System for automatic drying of CMP Pad

Номер: KR102782689B1
Автор: 반재만, 이창근, 이주용

CMP PAD가 적재된 웨이퍼 카세트를 건조 설비에 투입하여 자동으로 건조 작업을 수행하는 자동 건조 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 자동 건조 장치는, CMP Pad(Chemical Mechanical Polishing Pad)를 웨이퍼 카세트에 적재시키는 로딩부; CMP Pad가 적재된 웨이퍼 카세트를 무인반송차량(AGV)에 탑재시키기 위해 이송시키는 카세트 컨베이어부; 및 무인반송차량에 의해 반송된 웨이퍼 카세트가 투입되면, 투입된 웨이퍼 카세트에 적재된 CMP Pad의 건조 작업을 수행하는 건조부;를 포함한다. 이에 의해, CMP PAD의 웨이퍼 카세트 적재, 이송, 건조 설비에 로딩(상차) 및 건조 설비 세팅, 건조 후 언로딩 및 다음 공정 설비로 이송 등의 공정을 자동화하여, CMP Pad의 건조 공정에서의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

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13-06-2019 дата публикации

METHOD AND SYSTEM FOR DESIGNING LAYOUT OF SMART FACTORY

Номер: WO2019112379A1
Принадлежит:

A method and a system for designing a layout of a smart factory are provided. A method for designing a layout of a smart factory, according to an embodiment of the present invention, comprises: selecting a layout type of a smart factory; creating blocks and arranging the same in the selected type of layout; and creating lines and arranging the same in the blocks. Accordingly, it is possible to automatically design the layout of a smart factory through systematic standards and algorithms that are not subject to human supervision, thereby ensuring the appropriateness of the design.

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13-06-2019 дата публикации

METHOD AND SYSTEM FOR SMART FACTORY LAYOUT EFFICIENCY EVALUATION

Номер: WO2019112380A1
Принадлежит:

Provided is a method and system for smart factory layout efficiency evaluation. A method for smart factory layout efficiency evaluation according to an embodiment of the present invention comprises: evaluating candidate layouts of a smart factory in a first scheme so as to select some candidate layouts as excellent candidate layouts; and evaluating the excellent candidate layouts in a second scheme so as to select, as a final layout, one of the excellent candidate layouts. Accordingly, the present invention enables automatic evaluation of efficiency of a smart factory layout through various systematic indicators other than the subjectivity of a person, and thus enables the objectivity of evaluation to be guaranteed.

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