Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
19-03-2025 дата публикации

CMP Pad System for automatic drying of CMP Pad

Номер: KR102782689B1
Автор: 반재만, 이창근, 이주용
Принадлежит: 에스케이 주식회사, (주)한주하이텍

CMP PAD가 적재된 웨이퍼 카세트를 건조 설비에 투입하여 자동으로 건조 작업을 수행하는 자동 건조 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 자동 건조 장치는, CMP Pad(Chemical Mechanical Polishing Pad)를 웨이퍼 카세트에 적재시키는 로딩부; CMP Pad가 적재된 웨이퍼 카세트를 무인반송차량(AGV)에 탑재시키기 위해 이송시키는 카세트 컨베이어부; 및 무인반송차량에 의해 반송된 웨이퍼 카세트가 투입되면, 투입된 웨이퍼 카세트에 적재된 CMP Pad의 건조 작업을 수행하는 건조부;를 포함한다. 이에 의해, CMP PAD의 웨이퍼 카세트 적재, 이송, 건조 설비에 로딩(상차) 및 건조 설비 세팅, 건조 후 언로딩 및 다음 공정 설비로 이송 등의 공정을 자동화하여, CMP Pad의 건조 공정에서의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

Подробнее
Номер записи: 1