20-04-2018 дата публикации
Номер: KR0101834973B1
... 본 발명은 롤투롤 방식에 의하여 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 다이싱 테이프용 폴리우레탄 필름의 제조방법에 있어서, 폴리우레탄 필름을 적용하고, 상기 필름의 제조를 위한 습식제조공정을 제공하며, 이는 균일한 두께의 폴리우레탄 필름을 제조하는 공정에 관한 것이며, 제조 공정 시 기포 발생을 방지하는 필름 제조공정을 제공하는 데 있다. 이를 위하여, 반도체 웨이퍼용 다이싱 테이프의 필름 제조방법에 있어서, 롤 방식으로 감긴 PET film을 unwinder에 장착하는 단계(S10); 수지를 묽게 만들어 코팅성을 좋게 하기 위하여, 용매 85 wt% 내지 89 wt% 에 폴리우레탄 10 wt%내지 12wt%을 함침시켜서, 완전히 녹이는 단계(S20); 폴리우레탄 필름의 강도 조절을 위하여, 가교제 1.0wt% 내지 3.0wt%를 혼합하여 액화 폴리 우레탄필름을 형성시키는 단계(S30); 슬롯다이(20)를 통하여, 사전 설정된 두께로, 상기 액화 폴리 폴리우레탄 수지를 PET 필름위에 코팅시키는 코팅 제조 단계(S40); 용제를 휘발시키는 건조단계(S50); 타측의 롤(100)방식으로 감는 단계(S60); 분자구조의 안정성을 위한 숙성단계(S70); 상기 PET필름(10)과 건조된 폴리우레탄 필름을 분리시키는 단계(S80); 로 이루어진 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 다이싱 테이프용 폴리우레탄 필름의 제조방법에 관한 것이다. 이는 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 다이싱 테이프용 폴리우레탄 필름의 제조방법으로서, 균일한 두께의 다이싱 테이프를 제공하여, 질의 안정성을 높이는 효과를 제공하고자 하는 것이다. 또한, 롤투롤 방식을 제공하여 PET필름 위에 폴리우레탄 수지를 코팅하여 필름을 제조하는 공정에서 기포가 발생되지 않으므로 품질을 증가시키는 효과를 제공하고자 하는 것이다. 또한, 롤투롤 방식으로, 자동화 설비구축이 매우 용이하며, 생산단가가 저렴하면서, 생산성을 더욱 향상되는 효과를 제공하고자 하는 것이다. 또한, Wet코팅의 롤투롤 방식에 의하여 높은 강도 ...
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