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23-11-2017 дата публикации

VACUUM EVAPORATION SOURCE

Номер: KR1020170128767A
Автор: MOON IL KWON, CHA SU YOUNG, MIN YOON KI, HWANG DO WEON
Принадлежит:

The present invention relates to a vacuum evaporation source for evaporating thin film forming materials. The vacuum evaporation source comprises: a case having an inner space part; and a crucible provided in the inner space part to house thin film forming materials, wherein the crucible has a dual structure with an inner tank and an outer tank, and a hole is formed in an upper part of the outer tank to allow radiation heat of a heater to flow therethrough. Therefore, the vacuum evaporation source can prevent the thin film forming materials from being condensed in an outlet of a nozzle. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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Номер записи: 1
21-04-2023 дата публикации

기판 처리 방법

Номер: KR20230053515A
Автор: 나두현, 이경은, 이학준, 민윤기, 김하림, 고동현, 조성일
Принадлежит:

... 높은 종횡비를 갖는 갭 구조물 표면에 단차 도포성이 개선된 막을 형성할 수 있는 기판 처리 방법은 제1 단차부 및 제2 단차부를 갖는 갭 구조물을 마련하는 단계, 상기 갭 구조물 상으로 소스 기체를 포함하는 기체를 공급하는 단계, 상기 소스 기체로부터 활성종들을 생성하는 단계, 상기 활성종들을 중성화하여 중성 분자들을 생성하고, 상기 제1 단차부와 상기 제2 단차부 사이로 연장되는 리세스의 하부 표면을 향하는 방향으로 상기 중성 분자들을 이동시키는 단계, 및 상기 하부 표면을 향하는 방향으로 이동한 상기 중성 분자들을 여기시키는 단계를 포함한다.

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Номер записи: 2
24-11-2017 дата публикации

진공 증발원

Номер: KR0101800738B1
Автор: 문일권, 차수영, 민윤기, 황도원
Принадлежит: (주)알파플러스

... 본 발명은 노즐의 출구에 박막 형성용 물질이 응축되는 것을 방지할 수 있는 진공 증발원을 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 진공 증발원은, 박막 형성용 물질을 증발시키는 진공 증발원에 있어서, 내부 공간부를 가지는 케이스; 상기 내부 공간부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질을 수용하는 도가니; 및 상기 도가니의 상부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질이 최종적으로 지나는 출구를 가지는 노즐을 포함하고, 상기 노즐의 출구는, 상기 도가니의 내부에 위치되되 상기 도가니의 상단 보다 아래에 위치된다.

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Номер записи: 3
25-01-2021 дата публикации

A bag filter filtering system of lancing water treatment facilities for lancing equipment for removing sediment of steam ganerator in nuclear power plant

Номер: KR102206885B1
Автор: CHOI YONG SEOK, HONG JAE YOUNG, YUN SANG JUNG, MIN YOON KI, LEE DAE WOO, JUNG DO YEONG, JANG HEE KON, JAE SEOK PARK
Принадлежит: SAE AN ENG CORPORATION, SAE-AN ENGINEERING CORPORATION

The present invention relates to a bag-filter filtering system of a lancing water treatment facility for a lancing apparatus to remove sediment from a steam generator in a nuclear power plant. An objective of the present invention is to stably and continuously perform an operation for removing sludge contained in sprayed water and evaporate moisture through a drying process for a bag filter to be replaced when replacement of the bag filter is required because the sludge is accumulated in the bag filter of the bag filter and a cartridge filter, which remove the sludge contained in the sprayed water collected in a sludge tank of the lancing apparatus, thereby enabling a worker to safely handle the bag filter to be replaced. Moreover, water is not leaked from the bag filter to be replaced, which includes a reduced amount of water, thereby reliably preventing contamination on the floor of a lancing process room. According to the present invention, the bag-filter filtering system comprises: ...

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Номер записи: 4
16-05-2018 дата публикации

METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY

Номер: KR1020180051349A
Автор: CHUN, SEUNG JU, YOO, YONG MIN, CHOI, JONG WAN, KIM, YOUNG JAE, KIM, SUN JA, LIM, WAN GYU, MIN, YOON KI, LEE, HAE JIN, YOO, TAE HEE
Принадлежит:

A method for processing a substrate by omitting a photolithographic process is disclosed. The method includes: forming at least one layer on a stepped structure having an upper surface, a lower surface, and a side surface for connecting the upper surface to the lower surface; selectively densifying a layer of the at least one layer on the upper surface and the lower surface through application of asymmetric plasma; and performing an isotropic etching process on the layer. During the isotropic etching process, the layer formed on the upper surface is separated from the layer formed on the lower surface. COPYRIGHT KIPO 2018 (AA) Start (BB) End (S1) Formation of a first insulating layer on a step structure (S2) Formation of a second insulating layer on the first insulating layer (S3) Plasma application (densification) (S4) Wet etching ...

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Номер записи: 5
09-11-2018 дата публикации

진공 증발원

Номер: KR0101917348B1
Автор: 문일권, 차수영, 민윤기, 황도원
Принадлежит: (주)알파플러스

... 본 발명은, 박막 형성용 물질을 증발시키는 진공 증발원에 있어서, 내부 공간부를 가지는 케이스; 및 상기 내부 공간부에 구비되며 박막 형성용 물질을 수용하는 도가니를 구비하고, 상기 도가니는, 내조와 외조의 이중 구조를 가지고, 상기 외조의 상부에는 히터의 방사열이 유입되도록 하는 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 증발원을 제공한다.

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Номер записи: 6
16-05-2019 дата публикации

EFFUSION CELL

Номер: WO2019093534A1
Автор: MOON, Il Kwon, CHA, Su Young, MIN, Yoon Ki, HWANG, Do Weon
Принадлежит:

The present invention provides an effusion cell for evaporating a material for thin film formation, comprising: a case having an internal space part; a crucible provided in the internal space part and accommodating the material for thin film formation; and a nozzle provided at the upper part of the crucible such that the material for thin film formation is to be discharged to the outside of the crucible through the nozzle, wherein the nozzle comprises: an upwardly narrowing inclination part formed to be inclined from one end portion of a lower side of the nozzle toward the inside of the crucible; a first upwardly expanding inclination part formed to be inclined from an upper end portion of the upwardly narrowing inclination part toward an edge side of the crucible; and a second upwardly expanding inclination part formed to be inclined from an upper end portion of the first upwardly expanding inclination part toward the edge side of the crucible.

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Номер записи: 7
16-05-2024 дата публикации

멀티홀 구조의 OLED 증착기 소스

Номер: KR102666177B1
Автор: 민윤기
Принадлежит: 주성엔지니어링(주)

... 본 발명은 노즐부의 양 끝단에 배치된 노즐에 복수의 분사홀을 구비하여 사선방향과 수평방향으로 증발물질을 분사하도록 함으로써 두께측정센서 간의 간섭 제거와 공간 최적화라는 두 가지 기능을 구현할 수 있는 것을 특징으로 하는 멀티홀 구조의 OLED 증착기 소스에 관한 것이다. 본 발명에 따른 멀티홀 구조의 OLED 증착기 소스에 의하면, 하나의 노즐에서 증발물질을 수평방향뿐만 아니라 사선방향으로도 분사하도록 함으로써 기판의 양쪽 모서리에서 발생하는 박막 두께의 처짐 현상을 방지하여 박막 두께의 균일도를 확보하고 두께측정센서 간의 간섭을 제거할 수 있는 효과가 있다.

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04-11-2022 дата публикации

기판처리장치

Номер: KR20220147780A
Автор: 민윤기, 박경완, 류준열
Принадлежит:

... 본 발명은, 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리를 위한 열을 공급하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 전면에서 기판(1)이 인출입되며, 기판처리를 위한 내부공간이 형성되는 챔버(10)와; 상기 챔버(10)의 상기 내부공간에 복수개가 설치되어, 기판처리를 수행하는 복수의 히터모듈(20)을 포함하며, 상기 히터모듈(20)은, 적어도 하나의 구획공간을 형성하며, 기판(1)을 지지하기 위한 기판지지핀(101)이 구비되는 프레임부(100)와; 상기 프레임부(100)의 상부 및 하부 중 적어도 하나에 설치되는 단열부(200)와; 상기 프레임부(100) 상측에 설치되어, 상기 기판(1)을 가열하는 히터부(400)를 포함하는 기판처리장치를 개시한다.

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Номер записи: 9
09-02-2023 дата публикации

비공기입 타이어

Номер: KR20230019706A
Автор: 황순욱, 곽철우, 김기운, 민윤기, 박창중, 조병현
Принадлежит:

... 본 발명은 비공기입 타이어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하중을 지지하고 충돌 및 굴신에 대한 완충작용을 수행하면서 승차감 성능이 우수한 구조를 가진 비공기입 타이어에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 비공기입 타이어는, 타이어 휠축에 결합되는 고리 형상의 내측밴드와, 상기 내측밴드로부터 이격되어 형성되며, 트레드가 구비된 외측밴드 및 상기 내측밴드와 외측밴드 사이에 구비되는 스포크부를 포함하는 비공기입 타이어에 있어서, 상기 스포크부는, 타이어 원주방향을 향해 경사진 형상을 갖는 제1스포크부와, 상기 제1스포크부로부터 원주반대방향을 향해 경사진 형상을 갖는 제2스포크부를 포함하고, 상기 제1스포크부와 제2스포크부 사이에 설치되는 보강스포크부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 10
21-11-2018 дата публикации

METHOD FOR SELECTIVELY FORMING SILICON NITRIDE FILM ON SIDEWALL OR PLANE SURFACE OF TRENCH

Номер: KR1020180124788A
Автор: ISHIKAWA DAI, FUKAZAWA ATSUKI, SHIBA EIICHIRO, UEDA SHINYA, EBISUDANI TAISHI, CHUN SEUNG JU, YOO YONG MIN, MIN YOON KI, KIM SE YONG, CHOI JONG WAN
Принадлежит:

The present invention relates to a method for producing a layer structure in a trench, which comprises the steps of: simultaneously forming a dielectric film containing Si-N bond on top and bottom surfaces, and sidewalls of a trench, wherein different chemical resistance characteristics are given by a collision of plasma excited by applying voltage between two electrodes in which a substrate is placed in parallel, at top/bottom portions of the film formed on the top and bottom surfaces, and a sidewall portion of the film formed on the sidewalls; and substantially removing not all but one of the top/bottom portions and the sidewall portion of the film, wherein one of the top/bottom portions and the sidewall portion of the film is removed more predominately than the other by wet etching in accordance with the different chemical resistance characteristics. COPYRIGHT KIPO 2019 (S1) Form a dielectric film having directivity among film properties by using collision of plasma, on a trench (S2) ...

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Номер записи: 11
01-11-2017 дата публикации

VACUUM EVAPORATION SOURCE

Номер: KR1020170121022A
Автор: MOON, IL KWON, CHA, SU YOUNG, MIN, YOON KI, HWANG, DO WEON
Принадлежит:

The technical object of the present invention is to provide a vacuum evaporation source capable of preventing a substance for forming a thin film from condensing at the outlet of a nozzle. To this end, in a vacuum evaporation source for evaporating a substance for forming a thin film, the evaporation source of the present invention comprises a case having an inner space part; a crucible provided in the inner space part and accommodating the substance; and a nozzle provided in the upper part of the crucible and having an outlet through which the substance finally passes. The outlet of the nozzle is located inside the crucible and below the upper end of the crucible. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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Номер записи: 12
10-02-2021 дата публикации

FORWARD HEAD POSTURE PROTECTION DEVICE AND CONTROLLING METHOD THEREOF

Номер: KR102215561B1
Автор: 임동원, 정명석, 민윤기, 정승남, 김채은, 유지은
Принадлежит: 수원대학교 산학협력단

... 본 발명은 거북목 방지장치(1) 및 그 제어방법(S1)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사용자의 신체 다 지점에 대한 제1 중심 좌표값(d1)을 기 저장하고, 상기 제1 중심 좌표값(d1)을 바탕으로 사용자의 신체 다 지점에 대한 제2 중심 좌표값(d2)을 재측정하며 제1 중심 좌표값(d1)과의 이격 거리를 측정하고 거북목 상태 여부를 판단하여 거북목 자세에 대한 알람을 제공함으로써, 자세교정을 도모하는 것을 특징으로 하는 거북목 방지장치(1) 및 그 제어방법(S1)에 관한 것이다.

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Номер записи: 13
23-10-2018 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND APPARATUS MANUFACTURED THEREBY

Номер: KR1020180115647A
Автор: YOO TAE HEE, MIN YOON KI, YOO YONG MIN
Принадлежит:

Disclosed is a substrate processing method capable of preventing non-uniformity of the thickness of landing pads deposited on each step in a process of selectively depositing a landing pad in a vertical NAND device having a stepped structure. The substrate processing method comprises the following steps of: stacking, a plurality of times, a stack structure including an insulating layer and a sacrificial layer; and etching the stack structure to form a stepped structure having an upper surface, a lower surface, and a side surface connecting the upper surface and the lower surface. The method also comprises the following steps of: forming a protective layer on the stepped structure; forming a mask layer on the protective layer; and exposing at least a portion of the protective layer by etching at least a portion of the mask layer with a first etching solution. The method further comprises the following steps of: etching the exposed protective layer with a second etching solution; and etching ...

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Номер записи: 14
23-10-2018 дата публикации

COMPOSITION FOR DIET AND DEFECATION INDUCEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер: KR101911205B1
Автор: PARK, SE JIN, MIN, YOON KI
Принадлежит: PARK, SE JIN, MIN, YOON KI

The present invention relates to a composition for a diet and defecation inducement and health food. The composition for a diet and defecation inducement comprises 47-57 parts by weight of psyllium husk powder, 18-28 parts by weight of rice bran or fermented rice bran, 5-6 parts by weight of kelp powder, 4-5 parts by weight of fructooligosaccharide, 3.5-4.5 parts by weight of chicory fiber, 3-4 parts by weight of glasswort, 2.5-3.5 parts by weight of yeast powder, 1.5-2.5 parts by weight of lactulose powder, 0.5-1.5 parts by weight of lactobacillus powder, 0.05-0.15 parts by weight of composite amino acid, 0.4-0.6 parts by weight of aloe arborescens, and 0.5-1.5 parts by weight of garlic powder. The composition for a diet and defecation inducement and the health food comprise nutrient components such as vegetable dietary fiber, vitamins, and minerals becoming food of beneficial bacteria in intestines to energize beneficial bacteria in intestines, increase the beneficial bacteria ratio of ...

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Номер записи: 15
28-03-2018 дата публикации

ANGLE-ADJUSTABLE BOAT FOOTHOLD ASSEMBLY

Номер: KR101843110B1
Автор: MIN, YOON KEE
Принадлежит: BIG THING CO., LTD.

The present invention relates to an angle-adjustable boat foothold assembly. The angle-adjustable boat foothold assembly comprises: a boat foothold; a foothold support which is installed in a boat and is connected to the boat foothold to support the boat foothold; an angle adjusting fixed unit which includes a fixed body fixed to one side of the foothold support, a plurality of fixed gears formed on one side of the fixed body along the circumferential direction of the fixed body, and a plurality of hooks disposed adjacent to the fixed gears; and an angle adjusting rotary unit which is connected to the foothold support to support the boat foothold and rotates the boat foothold by the interaction with the angle adjusting fixed unit. The angle adjusting rotary unit comprises: a rotary body which is coupled to the other side of the foothold support to be connected to the angle adjusting fixed unit and is connected to the boat foothold at one side thereof; a plurality of rotary gears which are ...

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Номер записи: 16
22-08-2019 дата публикации

COMPOSITION FOR INDUCED BOWEL MOVEMENT AND DIET AND PREPARATION METHOD THEREOF

Номер: WO2019160277A1
Автор: PARK, Se Jin, MIN, Yoon Ki
Принадлежит:

The present invention relates to a composition and a healthy food product for induced bowel movement and diet comprising 47-57 parts by weight of a psyllium husk powder, 18-28 parts by weight of a rice bran powder, 5-6 parts by weight of a kelp powder, 4-5 parts by weight of a fructooligosaccharide, 3.5-4.5 parts by weight of chicory fiber, 3-4 parts of weight of glasswort, 2.5-3.5 parts by weight of yeast powder, 1.5-2.5 parts by weight of lactulose powder, 0.5-1.5 parts by weight of lactic acid bacteria powder, 0.05-0.15 parts by weight of a complex amino acid, 0.4-0.6 parts by weight of aloe avoresence, and 0.5-1.5 parts by weight of garlic powder. The composition and healthy food product for induced bowel movement and diet of the present invention comprise nutritional ingredients such as vegetable dietary fiber, vitamins, minerals, etc. which are fed to beneficial intestinal bacteria, thereby activating beneficial intestinal bacteria, increasing a proportion of beneficial bacteria in ...

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Номер записи: 17