Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год

Применить Всего найдено 2. Отображено 2.
27-07-2015 дата публикации

TRANSFER DEVICE AND WAFER TRANSFER METHOD USING SAME

Номер: KR1020150086100A
Принадлежит:

The present invention relates to a transfer device and a wafer transfer method using the same, comprising steps of: mounting an object to be transferred on a robot arm to transfer the object to be transferred to a predetermined position; bonding a plurality of adhesive pads spaced from each other to be provided on the robot arm to the object to be transferred; inserting the robot arm wherein the object to be transferred is mounted to be moved into the inside of a laminated container; and separating the object to be transferred and the adhesive pads bonded to the object to be transferred while mounting the object to be transferred on the inside of the laminated container. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

Подробнее
17-09-2015 дата публикации

transfer device and transfer method using the same

Номер: KR0101553826B1
Автор: 정훈의, 문우영, 양호식

... 본 발명은, 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 이송 대상물을 설정 위치로 이동시키기 위해 로봇 암에 상기 이송 대상물을 안착시키는 단계; 상기 로봇 암에 상호 이격되어 복수 개 구비된 접착 패드들이 상기 이송 대상물에 접착하는 단계; 상기 이송 대상물이 안착된 상기 로봇 암이 이동하여 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입되는 단계; 및 상기 이송 대상물을 상기 적층 컨테이너 내부에 안착시키고, 상기 이송 대상물과 상기 이송 대상물에 접착된 상기 접착 패드들이 분리되는 단계를 포함한다.

Подробнее