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11-05-2016 дата публикации

Suction pad for transferring device and the transferring device comprising the same

Номер: KR0101619876B1
Автор: 정훈의
Принадлежит: 울산과학기술원, (주)엠프리시젼

... 본 발명은, 이송장치용 흡착패드에 관한 것으로, 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 격벽을 포함하는 이송장치용 흡착패드를 포함한다.

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Номер записи: 1
17-09-2015 дата публикации

transfer device and transfer method using the same

Номер: KR0101553826B1
Автор: 정훈의, 문우영, 양호식
Принадлежит: 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단, (주)엠프리시젼

... 본 발명은, 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 이송 대상물을 설정 위치로 이동시키기 위해 로봇 암에 상기 이송 대상물을 안착시키는 단계; 상기 로봇 암에 상호 이격되어 복수 개 구비된 접착 패드들이 상기 이송 대상물에 접착하는 단계; 상기 이송 대상물이 안착된 상기 로봇 암이 이동하여 상기 적층 컨테이너의 내부로 인입되는 단계; 및 상기 이송 대상물을 상기 적층 컨테이너 내부에 안착시키고, 상기 이송 대상물과 상기 이송 대상물에 접착된 상기 접착 패드들이 분리되는 단계를 포함한다.

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Номер записи: 2