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03-03-2023 дата публикации

메니스커스 측정 장치 및 방법, 기판 처리 장치

Номер: KR20230029406A
Автор: 강한림, 장석원, 이재덕, 진원용
Принадлежит:

... 잉크젯 헤드의 다수의 노즐에서의 메니스커스 위치를 빠르고 정확하게 측정할 수 있는, 메니스커스 측정 방법을 제공될 수 있다. 상기 메니스커스 측정 방법은, 다수의 노즐을 통해서 잉크를 토출할 수 있는 헤드 유닛을 제공하고, 필름을 상기 다수의 노즐에 밀착시켜, 상기 다수의 노즐 내에 잔류하는 잉크가 상기 필름에 묻도록 하여 상기 필름에 검출 패턴을 형성하고, 상기 검출 패턴을 기초로, 상기 다수의 노즐 내에 잔류하는 잉크의 메니스커스를 측정한다.

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Номер записи: 1
06-02-2023 дата публикации

약액 분석 장치 및 약액 분석 방법

Номер: KR20230017541A
Автор: 강한림, 이재덕, 진원용
Принадлежит:

... 약액 분석 장치는 두 개의 레이저 빔이 서로 교차하는 프린지 영역을 통과하는 약액을 측정함에 의해 상기 약액의 크기 및 속도를 분석할 수 있는 것으로써, 상기 프린지 영역이 형성될 수 있게 상기 두 개의 레이저 빔을 조사하도록 구비되는 레이저 조사부, 및 상기 두 개의 레이저 빔을 조사함에 의해 형성되는 상기 프린지 영역의 위치를 확인하도록 구비되는 위치 확인부를 포함할 수 있고, 이에 상기 프린지 영역의 위치를 확인한 후 약액 토출부로부터 토출되는 약액이 프린지 영역을 통과할 수 있게 상기 약액 토출부를 정렬시키도록 구비될 수 있다.

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Номер записи: 2
06-02-2023 дата публикации

약액 분석 장치 및 약액 분석 방법

Номер: KR20230017543A
Автор: 진원용, 장석원, 강한림, 박솔민, 이호상, 이재덕
Принадлежит:

... 약액 분석 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액이 지나가는 제1 공간에서의 제1 지점에 대한 제1 정보를 획득하는 제1 모듈과, 상기 제1 공간 아래에 상기 약액이 지나가는 제2 공간에서의 제2 지점에 대한 제2 정보를 획득하는 제2 모듈, 및 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈로부터의 상기 제1 정보 및 상기 제2 정보에 근거하여 상기 약액에 대한 토출 정보를 분석하는 분석부를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 3
06-02-2023 дата публикации

기판 처리 장치

Номер: KR20230017516A
Автор: 강한림, 진원용, 장석원
Принадлежит:

... 본 발명은 잉크 탱크 내에 저장되는 약액의 입자가 침강되는 현상을 개선할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 기판 처리 장치는, 다수의 입자를 포함하는 잉크가 저장되는 잉크 탱크; 상기 잉크 탱크의 제1 높이에 설치되고, 제1 레이저를 생성하는 제1 레이저 발생기; 상기 제1 레이저 발생기에 대응되고, 상기 제1 레이저를 수신하는 제1 레이저 수신기; 상기 잉크 탱크의 상기 제1 높이보다 높은 제2 높이에 설치되고, 제2 레이저를 생성하는 제2 레이저 발생기; 상기 제2 레이저 발생기에 대응되고, 상기 제2 레이저를 수신하는 제2 레이저 수신기; 및 수신된 상기 제1 레이저의 제1 강도와, 수신된 상기 제2 레이저의 제2 강도를 비교하여, 상기 잉크 탱크를 움직이게 하는 구동부를 포함한다.

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Номер записи: 4
02-04-2024 дата публикации

마이크로웨이브 산란층을 포함하는 기판 처리 장치

Номер: KR20240042949A
Автор: 강한림, 최윤석, 봉윤근, 신재원, 이상정, 장경훈, 조현우, 박종원
Принадлежит:

... 본 발명은 마이크로웨이브 산란층을 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 장치는, 내부에 처리 공간을 가지는 챔버; 상기 처리 공간에 배치되며 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 처리 공간으로 마이크로웨이브를 공급하여 기판을 가열하기 위한 마이크로웨이브 유닛; 및 상기 마이크로웨이브 유닛과 상기 기판 지지 유닛 사이에 배치되어, 상기 마이크로웨이브 유닛으로부터 상기 처리 공간으로 공급되는 마이크로웨이브를 산란시키기 위한 투명 부재를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 5
02-04-2024 дата публикации

기판 처리 장치

Номер: KR20240042950A
Автор: 강한림, 이창형, 조현우, 최윤석
Принадлежит:

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 장치는, 내부에 처리 공간을 가지는 챔버; 상기 처리 공간에서 기판을 지지하기 위한 기판 지지 유닛; 상기 처리 공간으로 마이크로웨이브를 인가하기 위한 마이크로웨이브 유닛; 상기 챔버 주위에 배치되어 상기 처리 공간에 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재; 및 상기 마이크로웨이브 유닛 및 상기 자기장 형성 부재의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 자기장 형성 부재를 제어함으로써 상기 처리 공간에 발생되는 마이크로웨이브의 분포를 조절하는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 6
06-02-2023 дата публикации

프린팅 장치 및 그 운용 방법

Номер: KR20230017514A
Автор: 진원용, 이호상, 장석원, 강한림
Принадлежит:

... 프린팅 장치 및 그 잉크 운용 방법을 제공한다. 프린팅 장치는 잉크가 수용되는 프린팅잉크수용체; 상기 잉크가 분사되는 분사헤드가 구비되는 분사헤드부와, 상기 잉크의 운용을 위한 유체의 압력제어를 수행하는 압력제어부; 및 상기 분사헤드와 제4유로를 통하여 연통되며, 상기 제4유로 상에서 상기 분사헤드부로부터 상기 프린팅잉크수용체로 잉크를 펌핑하여 공급하는 순환모듈을 포함하며, 상기 프린팅잉크수용체는, 상기 분사헤드와 제3유로를 통하여 연통되며, 상기 제3유로를 통하여 잉크를 상기 분사헤드 로 공급하고, 상기 제4유로는 상기 순환모듈을 기준으로 상기 순환모듈의 일측면에서 상기 분사헤드로 연결되는 제4-1유로와, 상기 순환모듈의 타측면에서 상기 프린팅잉크수용체로 연결되는 제4-2유로를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 7
27-10-2022 дата публикации

액적 정보 측정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템

Номер: KR20220144664A
Автор: 진원용, 장석원, 이재덕, 강한림, 박솔민
Принадлежит:

PDPA 검사 장치에서 프린지 위치에 해당하는 지점을 확인하기 위해 노즐 뷰 카메라를 설치하는 액적 정보 측정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 상기 액적 정보 측정 장치는, 제1 광을 생성 및 출력하는 제1 발광 모듈; 제1 광과 교차하는 제2 광을 생성 및 출력하는 제2 발광 모듈; 제1 광과 제2 광의 교차 영역을 통과하는 액적을 감지하는 검출 모듈; 액적을 토출하는 노즐을 측정하는 이미지 획득 모듈; 및 액적을 감지하여 얻은 정보 및/또는 노즐을 측정하여 얻은 정보를 기초로 액적에 대한 정보를 생성하는 제어 모듈을 포함한다.

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Номер записи: 8
28-10-2022 дата публикации

프린터 세정시스템

Номер: KR20220144986A
Автор: 진원용, 이호상, 장석원, 강한림
Принадлежит:

... 프린터 세정시스템을 제공한다. 프린터 세정시스템은 제1수용체; 세정액이 충진되며, 상기 세정액을 수요처로 공급하는 제2수용체; 상기 제1수용체와 상기 제2수용체 상호간에 설치되며, 상기 세정액을 상기 제1수용체의 내부에 방사형으로 고압분사하여 상기 제1수용체를 내부세정시키는 분사모듈; 상기 제2수용체와 연통되며, 상기 내부세정에 따라 상기 제1수용체에 충진된 내부충진물을 공급받아 외부배출하는 헤드부; 및 상기 제1수용체에 구비되며, 상기 제1수용체에 충진된 상기 내부충진물을 상기 제1수용체에서 자체배출시키는 드레인부를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 9
01-04-2024 дата публикации

마이크로파를 사용한 열처리 장치 및 그 동작 방법

Номер: KR20240041404A
Автор: 강한림, 최윤석, 김윤상, 조현우, 이상정
Принадлежит:

... 본 발명의 실시예는 마이크로파를 이용한 열처리 공정에서 저비용으로 기판의 열 분포를 조절할 수 있는 열처리 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 마이크로파를 사용한 열처리 장치는, 기판의 열처리 공간을 형성하는 챔버; 상기 열처리 공간의 하부에 위치하고 상기 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 및 상기 열처리 공간의 상부에 위치하고 상기 마이크로파에 의한 전자기장을 상기 열처리 공간에 형성하는 마이크로파 유닛;을 포함하고, 상기 기판 지지 유닛은, 상기 열처리 공간의 하부에 고정되는 척; 상기 기판을 지지하되 상기 척에 대하여 상기 기판을 상승 또는 하강하도록 구성된 승강 구동 기구; 및 상기 기판의 영역별 온도 분포에 기반하여 상기 기판의 높이를 조절하도록 상기 승강 구동 기구를 제어하는 제어기를 포함한다.

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Номер записи: 10