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27-03-2018 дата публикации

노즐, 이를 포함하는 기판 처리 장치

Номер: KR0101842128B1
Автор: 최기훈, 주윤종, 강병만
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판에 처리액을 공급하는 노즐과 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 내부에 처리액이 흐르는 유로가 형성되고 상기 유로와 연통되어 상기 처리액을 토출하는 토출구가 형성된 바디와 상기 바디를 흐르는 상기 처리액을 가압하여 상기 토출구를 통해 상기 처리액을 액적으로 토출시키는 압전소자를 포함하되 상기 토출구를 통해 토출되는 상기 액적의 평균 지름은 5마이크로미터 이상 15마이크로미터 미만인 노즐을 포함한다.

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08-06-2015 дата публикации

METHOD AND DEVICE FOR ANALYZING ELECTROLYTE OF REDOX FLOW BATTERY

Номер: KR1020150062657A
Принадлежит:

The present invention relates to a method and a device for analyzing an electrolyte of a redox flow battery. The method for analyzing an electrolyte of a redox flow battery according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: passing a first electrolyte liquid or a second electrolyte liquid respectively through a first assisting cell and a second assisting cell that are connected to a main cell and a storing tank; pulverizing at least one of the first assisting cell and the second assisting cell; applying an electric current to the first assisting cell and the second assisting cell; generating data by measuring a voltage between the first assisting cell and the second assisting cell; and analyzing an electrolyte included in an electrolyte liquid contained in the first assisting cell or second assisting cell based on an elapsed change in the voltage between the first assisting cell and the second assisting cell. By means of the present invention, information about ...

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06-01-2023 дата публикации

방사성 폐기물의 선택적 전처리 방법

Номер: KR102484834B1
Принадлежит: 한국원자력연구원

... 본 발명은 방사성 폐기물의 선택적 전처리 방법에 관한 것으로, 세하게는 방사성 요오드 및 방사성 세슘 중 하나 이상을 흡착하는 흡착제를 포함하는 흡착체를 방사성 폐기물 내에 추가하여 방사성 물질을 선택적으로 흡착하는 단계, 상기 방사성 물질을 흡착한 흡착체를 회수하는 단계, 및 상기 회수된 방사성 물질을 흡착한 흡착체를 이용하여 방사능 계측하는 단계를 포함하는 방사능 계측 방법 제공한다.

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26-06-2018 дата публикации

기판처리장치

Номер: KR0101870664B1
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명의 실시예에 의하면, 노즐을 지지하는 지지암은 제1암몸체, 제2암몸체, 그리고 제3암몸체를 포함한다. 제2암몸체는 제1암몸체에 압입되고, 제3암몸체는 제2암몸체에 압입된다. 제2암몸체는 제1암몸체 및 제3암몸체에 비해 강도가 강한 재질로 이루어하고, 상기 제1암몸체 및 상기 제3암몸체는 상기 제2암몸체에 비해 내부식성이 강한 재질로 이루어진다.

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06-04-2017 дата публикации

NOZZLE, AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE INCLUDING SAME

Номер: KR1020170038184A
Принадлежит:

The present invention relates to a nozzle for supplying a treatment liquid to a substrate, a substrate treating device including the same, and a method thereof. According to the present invention, the substrate treating device includes: a body having a liquid passage formed inside where a treatment liquid flows, and having a discharge opening formed therein to be configured to discharge the treatment liquid in a manner that communicates with the liquid passage; and a piezoelectric element configured to discharge the treatment liquid as liquid drops through the discharge opening in a manner that compresses the treatment liquid flowing in the body, wherein an average diameter of the liquid drop discharged through the discharge opening is greater than or equal to 5 micrometers and less than 15 micrometers. Thus, the present invention is able to improve efficiency of a cleaning process. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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16-12-2024 дата публикации

생물반응기를 이용한 반하 자구의 대량 생산 방법 및 그를 위한 배지 조성물

Номер: KR102742560B1
Принадлежит: 한국한의약진흥원

... 본 발명은 생물반응기를 이용하여 반하를 대량으로 생산하는 방법 및 그를 위한 조성물에 관한 것으로, 구체적으로는 반하 주아로부터 반하 캘러스를 유도하고 유도된 반하 캘러스를 대량으로 증식하는 방법, 반하 캘러스로부터 반하 자구를 형성하고 이를 대량으로 생산하는 방법, 상기 생산된 반하 자구로부터 반하 조직배양묘를 대량으로 생산하는 방법, 및 상기 방법을 위한 배지 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 의할 경우 반하의 생산량 증대와 더불어 농가 노동력 감소로 인한 생산비 절감 등의 농가소득에 기여할 것으로 기대된다.

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21-08-2015 дата публикации

Composition for improvement and treatment of inflammatory diseases comprising Alopecurus aequalis Sobol. extract as active componet

Номер: KR0101546021B1
Принадлежит: 조정희

... 본 발명은 뚝새풀 추출물을 유효성분으로 포함하는 것을 특징으로 하는 염증성 질환 개선용 조성물에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 뚝새풀 추출물을 이용하여 염증성 질환 관련연구를 진행한 결과, 뚝새풀 추출물(유효농도 100 ~ 200 ㎍/㎖)이 RAW 264.7 세포에서 NF-κB 전사 활성을 억제함으로써 LPS에 의해 유도되는 iNOS 그리고 COX-2 단백질과 pro-inflammatory cytokine인 TNF-α및 IL-6의 발현을 효과적으로 저해하였다. 따라서,뚝새풀 추출물은 대식세포를 매개로한 염증반응의 작용기전 연구에 중요한 기초 자료가 될 수 있을 뿐만 아니라, 향 후 염증성 질환의 예방과 치료에 효과적으로 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

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10-01-2018 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

Номер: KR1020180003678A
Принадлежит:

The present invention provides a substrate processing device capable of efficiently processing a substrate. According to an embodiment of the present invention, the substrate processing device comprises: a spin head; a support axis connected to a lower part of the spin head, and supporting the spin head; a pin located on an upper surface of the spin head to support the substrate, and having an internal space; and a nozzle member supplying a liquid to the substrate located in the spin head. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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10-12-2015 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD

Номер: KR1020150138533A
Принадлежит:

The present invention provides a substrate treating apparatus. The substrate treating apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention includes: a housing having a process space in the inside; a support unit which supports a substrate in the process space; a nozzle unit which injects liquid to the substrate supported by the support unit; and a liquid supply unit which supplies the liquid to the nozzle unit. The liquid supply unit may include a liquid supply line connected to the nozzle unit, a heating member which is installed to the liquid supply line and heats the liquid, and a collection line which is branched from the liquid supply line at a first point located on the downstream from the heating member. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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08-07-2015 дата публикации

PROCESSING LIQUID SUPPLY UNIT

Номер: KR1020150077527A
Принадлежит:

An embodiment of the present invention is to provide a device capable of heating a liquid. A processing liquid supply unit comprises: a treatment container having an accommodating space wherein a processing liquid is accommodated in the inner side; a heater to heat the processing liquid by being located in the accommodating space; and a reflector which is provided to surround the inner side of the treatment container and reflect an electromagnetism wavelength generated from the heater. The wasted electromagnetism wavelength from scattering or absorption is minimized because the electromagnetism wavelength capable of heating the processing liquid is reflected by the reflector. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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10-09-2018 дата публикации

기판 처리 장치

Номер: KR0101895933B1
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 스핀 헤드; 상기 스핀 헤드의 하부에 연결되어 상기 스핀 헤드를 지지하는 지지축; 상기 스핀 헤드의 상면에 위치되어 기판을 지지하고 내측에 공간이 형성되어 있는 핀; 및 상기 스핀 헤드에 위치된 기판으로 액을 공급하는 노즐부재를 포함한다.

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17-09-2015 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD

Номер: KR0101553361B1
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 처리액으로 기판을 처리하는 공정을 수행하는 공정챔버, 상기 공정챔버로 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛을 포함하되, 상기 처리액 공급 유닛은, 상기 처리액을 공급받아 저장하고, 상기 처리액을 설정 온도로 가열하는 가열 탱크와, 상기 가열 탱크로부터 가열된 상기 처리액을 공급받아 저장하고, 상기 처리액의 농도 및 온도를 각각 설정값으로 조절하는 보정 탱크와 상기 보정 탱크로부터 상기 처리액을 공급받아 저장하고, 저장된 상기 처리액을 상기 공정챔버로 공급하는 공급 탱크를 가질 수 있다.

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20-05-2015 дата публикации

COMPOSITION FOR IMPROVEMENT OF INFLAMMATORY DISEASES, CONTAINING ALOPECURUS AEQUALIS SOBOL. EXTRACT AS ACTIVE COMPONENT

Номер: KR1020150054038A
Принадлежит:

The present invention relates to a composition for improvement of inflammatory diseases, containing an alopecurus aequalis Sobol. extract as an active component. A result of an inflammatory disease related study using the alopecurus aequalis Sobol. extract shows that by the alopecurus aequalis Sobol. extract (active concentration 100-200 μg/ml) suppressing NF-κB transcription activity in RAW 264.7 cells, transcription of iNOS induced by LPS and COX-2 protein and TNF-α which is a pro-inflammatory cytokine, and IL-6 is effectively inhibited. Therefore, the alopecurus aequalis Sobol. extract can be an important fundamental material for action mechanism studies of inflammatory reaction via macrophage, and effectively used for prevention and treatment of inflammatory diseases in the future. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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26-01-2023 дата публикации

생물반응기를 이용한 반하 자구의 대량 생산 방법 및 그를 위한 배지 조성물

Номер: KR20230012328A
Принадлежит:

... 본 발명은 생물반응기를 이용하여 반하를 대량으로 생산하는 방법 및 그를 위한 조성물에 관한 것으로, 구체적으로는 반하 주아로부터 반하 캘러스를 유도하고 유도된 반하 캘러스를 대량으로 증식하는 방법, 반하 캘러스로부터 반하 자구를 형성하고 이를 대량으로 생산하는 방법, 상기 생산된 반하 자구로부터 반하 조직배양묘를 대량으로 생산하는 방법, 및 상기 방법을 위한 배지 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 의할 경우 반하의 생산량 증대와 더불어 농가 노동력 감소로 인한 생산비 절감 등의 농가소득에 기여할 것으로 기대된다.

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10-03-2016 дата публикации

REDOX FLOW BATTERY

Номер: WO2016036166A1
Принадлежит:

The present invention relates to a redox flow battery and, more specifically, to a redox flow battery comprising a cathode solution, an anode solution and an ion exchange membrane, wherein the cathode solution and the anode solution respectively comprise an electrolyte containing a Cl- ion and an active material containing a vanadium ion, and the electrolyte comprises at least one side reaction inhibitor selected from the group consisting of a metal phosphate, a metal hydrochloride and a metal sulfate.

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07-12-2017 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер: KR1020170134925A
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus and a substrate processing method. The substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a chamber for providing a space for processing a substrate; a support unit provided inside the chamber to support the substrate; a spraying unit including a nozzle for supplying a cleaning medium to the substrate supported by the support unit; and an auxiliary spray unit including an auxiliary nozzle for supplying a contamination preventing solution to the substrate supported by the support unit. Accordingly, the present invention can efficiently process the substrate. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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08-07-2015 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер: KR1020150077535A
Принадлежит:

Provided in the present invention is a substrate treating apparatus. The substrate treating apparatus comprises a treatment unit performing a treatment process on a substrate; and a chemical supply unit supplying a chemical to the treatment unit, wherein the chemical supply unit includes a supply tank connected to the treatment unit through a main supply line, and a heating tank including a heating member installed on a circulation line connected to the supply tank, and heating the chemical. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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02-02-2017 дата публикации

APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020170011158A
Принадлежит:

The present invention relates to an apparatus for treating a substrate, capable of uniformly mixing liquid supplied to a substrate and providing the liquid. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for treating a substrate comprises: a process chamber supplying a treatment liquid to a substrate and performing treatment; and a treatment liquid supply unit supplying a treatment liquid to the process chamber. The process chamber includes: a housing having a treatment space formed therein; a support unit positioned in the treatment space to support the substrate; and a liquid supply nozzle receiving the treatment liquid from the treatment liquid supply unit and supplying the treatment liquid to the substrate. The treatment liquid supply unit includes: a mixing member receiving liquids from a plurality of liquid supply sources and mixing the liquids; and a buffer tank receiving the mixed treatment liquid from the mixing member through a connection tube, storing the ...

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09-06-2015 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD

Номер: KR1020150063294A
Принадлежит:

Provided in the present invention is a substrate treating apparatus. The substrate treating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention comprises a process chamber performing a process of treating substrate with a process solution; and a process solution supply unit supplying the process solution to the process chamber, wherein the process solution supply unit includes a heating tank heating the process solution to the set temperature; a compensation tank receiving and storing the heated process solution from the heating tank, and controlling concentration and temperature of the process solution to set value respectively; and a supply tank receiving and storing the process solution from the compensation tank, and supplying the stored process solution to the process chamber. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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08-12-2016 дата публикации

NOZZLE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер: KR1020160141249A
Принадлежит:

The present invention relates to a nozzle for supplying a processing solution to a substrate, a substrate processing apparatus having the same, and a substrate processing method. According to an embodiment of the present invention, the nozzle comprises: a body which has a flow path where the processing solution flows and an outlet connected with the flow path to discharge the processing solution to the outside; and a piezoelectric element which presses the processing solution flowing in the body to discharge the processing solution through the outlet in a droplet type, wherein the average diameter of the droplets discharged through the outlet is 5 to 15 micrometers. Therefore, the present invention improves the efficiency of a washing process. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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08-01-2019 дата публикации

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

Номер: KR0101915478B1
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내부에 제공되어 상기 기판을 지지하는 지지유닛; 상기 지지유닛에 지지된 기판으로 세정매체를 공급하는 노즐을 갖는 분사 유닛; 상기 지지유닛에 지지된 기판으로 이온을 공급하는 이온화기를 포함한다.

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13-12-2017 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD THEREOF

Номер: KR1020170137242A
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a chamber; a support unit for supporting a substrate in the chamber; an inversion unit provided in the chamber, and inverting the substrate; a spray unit for spraying first and second fluids to the substrate supported by the support unit; and a controller for controlling the inversion unit and the spray unit. The controller controls the spray unit to perform a first processing step of spraying the first fluid to a first surface of the substrate in a state that the substrate is supported by the support unit to allow the first surface to be upwardly faced, controls the inversion unit to perform an inversion step of inverting the substrate, and controls the spray unit to perform a second processing step of spraying the second fluid to a second surface of the substrate in a state that the substrate is supported by the support unit ...

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22-11-2017 дата публикации

NOZZLE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер: KR1020170128189A
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus according to the present invention includes: a chamber for providing a space for processing a substrate; a support unit provided inside the chamber to support the substrate; and a nozzle for supplying a cleaning medium to the substrate supported by the support unit. The nozzle includes a contraction part including an inlet through which the cleaning medium is introduced and having a cross section which gradually decreases away from the inlet; an expanding part including an ejection port through which the cleaning medium is ejected and having a cross section which gradually increases toward the ejection port; and an orifice which is located between the contraction part and the expanding part. The cleaning medium introduced to the contraction part is a single sort of gas. Accordingly, the present invention can efficiently clean the substrate while maintaining the inside of the chamber at ...

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24-09-2015 дата публикации

COMPOSITION COMPRISING SAFFLOWER SPROUT EXTRACTS HAVING ANTI-INFLAMMATORY EFFECT AND ANTI-OXIDANT EFFECT

Номер: KR1020150107958A
Принадлежит:

The present invention relates to a composition having an anti-inflammatory effect and an anti-oxidant effect comprising a safflower sprout extract as an active ingredient by confirming an anti-inflammatory effect and an anti-oxidant effect of a safflower sprout extract with respect to each sprouting timing. A safflower sprout extract on ninth day after sprouting, according to one embodiment of the present invention, does not express cytotoxicity and exhibits an anti-inflammatory effect and inhibitory effect of inflammatory cytokines by inhibiting nitric oxide (NO) output. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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07-10-2015 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING ELECTROLYTE OF REDOX FLOW BATTERY

Номер: KR0101558683B1
Принадлежит: 오씨아이 주식회사

... 본 발명은 레독스 플로우 전지의 전해질 분석 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 레독스 플로우 전지의 전해질을 분석하는 방법은, 메인 셀 및 저장 탱크와 연결되는 제1 보조 셀 및 제2 보조 셀 각각에 제1 전해액 또는 제2 전해액을 통과시키는 단계, 상기 제1 보조 셀 및 상기 제2 보조 셀 중 적어도 하나를 폐쇄시키는 단계, 상기 제1 보조 셀 및 상기 제2 보조 셀에 전류를 인가하는 단계, 상기 제1 보조 셀 및 상기 제2 보조 셀 간 전압을 측정하여 데이터를 생성하는 단계 및 시간에 따른 상기 제1 보조 셀 및 상기 제2 보조 셀 간 전압의 변화에 기반하여 상기 제1 보조 셀 또는 상기 제2 보조 셀에 들어있는 전해액에 포함된 전해질을 분석하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 보다 효율적이고 보다 용이하게 전해질에 대한 정보를 획득할 수 있는 장점이 있다.

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14-10-2022 дата публикации

방사성 화학 폐기물 처리 장치 및 방사성 화학 폐기물의 처리 방법

Номер: KR102453558B1
Принадлежит: 한국원자력연구원

... 본 발명은 방사성 화학 폐기물이 함유된 유체로부터 상기 방사성 화학 폐기물을 흡착하여 분리해 내기 위한 방사성 화학 폐기물 흡착 부재를 포함하는 흡착 유닛; 및 상기 흡착 유닛과 유체 연통되어 있고, 상기 방사성 화학 폐기물이 흡착된 흡착 부재로부터 상기 방사성 화학 폐기물을 탈착시켜서 상기 방사성 화학 폐기물 흡착 부재를 재생하기 위한 재생 유닛;을 포함하는 것인 방사성 화학 폐기물 처리 장치, 및 (A) 방사성 화학 폐기물이 함유된 유체로부터 상기 방사성 화학 폐기물을 방사성 화학 폐기물 흡착 부재에 흡착시켜 분리하는 단계; 및 (B) 상기 방사성 화학 폐기물이 흡착된 방사성 화학 폐기물 흡착 부재로부터 상기 방사성 화학 폐기물을 탈착시켜서 상기 방사성 화학 폐기물 흡착 부재를 재생하는 단계;를 포함하는 것인 방사성 화학 폐기물의 처리 방법에 관한 것이다.

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24-09-2015 дата публикации

METHOD FOR MASS-PROLIFERATING GERMINATED SAFFLOWER USING AUTOMATIC SPROUT CULTIVATOR

Номер: KR1020150107959A
Принадлежит:

The present invention relates to a method for mass-proliferating germinated safflower, including a step of laying perlite in an automatic sprout cultivator and sowing safflower seeds. As a result of proliferating the germinated safflower by the method, the present invention increases production by 12-14%, reduces cultivation period by 6-11 days compared as general outdoor cultivation and increases a germination rate in an experimental plot where the seeds are sown with 300g of the perlite. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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27-01-2016 дата публикации

COMPOSITION COMPRISING WILD DENDROBIUM MONILIFORME EXTRACT AS ACTIVE INGREDIENT FOR SKIN WHITENING AND WRINKLE ALLEVIATION, AND FUNCTIONAL FOOD AND HERBAL COSMETICS MANUFACTURED BY USING SAME

Номер: KR1020160009752A
Принадлежит:

The present invention relates to a composition comprising a wild Dendrobium moniliforme extract as an active ingredient for skin whitening and wrinkle alleviation; and to a functional food and herbal cosmetics manufactured by using the composition. According to an embodiment of the present invention, the wild Dendrobium moniliforme extract shows an excellent effect on improvement in skin whitening due to an inhibitory effect of melanin synthesis, an inhibitory effect of tyrosinase activity, a reducing effect of tyrosinase protein expression, and a reducing effect of mRNA expression of TRP1, MITF, and TRP2. In addition, the wild Dendrobium moniliforme extract according to the present invention increases the biosynthesis rate of type 1 procollagen in fibroblasts derived from the human body, and has inhibited mRNA expression of MMP-1 and MMP-3 caused by TNF-a. Therefore, the composition according to the present invention can be practically used to manufacture a functional food and herbal cosmetics ...

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11-05-2017 дата публикации

NOZZLE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME AND METHOD THEREOF

Номер: KR1020170049962A
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus according to the present invention includes a chamber for providing a space for processing a substrate; a support unit provided in the chamber and supporting the substrate; and a nozzle for supplying a cleaning medium to the substrate supported by the support unit. The nozzle comprises a contraction part which has an inlet through which the cleaning medium flows in, and has a cross-sectional area which gradually decreases from the inlet; an expansion part which has an injection hole for injecting the cleaning medium and has a cross-sectional area which increases as it approaches the injection hole; and an orifice positioned between the contraction part and the expansion part. The cleaning medium flowing into the contraction part is a single gas. So, the substrate can be efficiently cleaned. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) CO_2 gas (BB) CO_2 particle ...

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08-07-2015 дата публикации

PROCESSING LIQUID SUPPLYING UNIT

Номер: KR1020150077523A
Принадлежит:

The present invention is to provide a device for supplying processing liquid to a substrate and a method thereof. A processing liquid supplying unit comprises: a nozzle; a processing liquid supplying line to connect a processing tank and the nozzle to supply a processing liquid provided to the processing tank to the nozzle; and a flow rate control member to control the flow rate of the processing liquid so the flow rate of the processing liquid corresponds to a predetermined flow rate value by being installed on the processing liquid supplying line. The flow rate control member comprises: a temperature measuring sensor to measure the temperature of the processing liquid; a flow rate control valve to control the flow rate of the processing liquid; and a controller to control the opening ratio of the flow rate control valve. The controller provides different opening ratios for each temperature measuring value provided from the temperature measuring sensor. Accordingly, it is controlled that ...

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15-01-2016 дата публикации

SUBSTRATE TREATING DEVICE AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер: KR1020160005461A
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate treating device. According to an embodiment of the present invention, the substrate treating device comprises: a treating container having a treating space therein and having a plurality of collection vessels which are provided to surround the treating space and to enable inlets, through which a fluid is inputted into the treating space, to be vertically laminated; a support unit configured to support a substrate in the treating container; a treating liquid supply unit configured to supply treating liquid to the substrate placed on the support unit; a main driver configured to elevate the treating container or the support unit to adjust a relative height of the treating container and the support unit; and a blocking unit configured to block all inlets located in an upper portion of an inlet, which collects the treating liquid being supplied to the substrate, among the inlets. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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17-01-2017 дата публикации

기판 처리 장치 및 방법

Номер: KR0101696194B1
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 내부에 처리 공간을 가지는 하우징, 상기 처리 공간 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛, 상기 지지 유닛에 지지된 기판으로 액을 토출하는 노즐 유닛, 그리고 상기 노즐 유닛으로 상기 액을 공급하는 액 공급유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은, 상기 노즐 유닛과 연결되는 액 공급라인, 상기 액 공급라인에 설치되어 액을 가열하는 가열부재, 그리고 상기 가열부재보다 하류인 제 1 지점에서 상기 액 공급라인으로부터 분기되는 회수 라인을 가질 수 있다.

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04-05-2017 дата публикации

NOZZLE AND SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND METHOD COMPRISING SAME

Номер: WO2017073952A1
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate treatment apparatus. The substrate treatment apparatus according to the present invention comprises: a chamber providing a space for treating a substrate; a support unit, provided inside the chamber, for supporting the substrate; and a nozzle for providing a cleaning medium to the substrate supported by the support unit, wherein the nozzle comprises: a contracting portion having an inlet through which the cleaning medium flows in, and having a cross-sectional area which decreases as the distance from the inlet increases; an expanding portion having a spray opening through which the cleaning medium is sprayed, and having a cross-sectional area which increases as the distance to the spray opening decreases; and an orifice located between the contracting portion and expanding portion, wherein the cleaning medium flowing into the contracting portion is a single gas.

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13-12-2017 дата публикации

APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020170137244A
Принадлежит:

The present invention provides an apparatus and a method for processing a substrate with liquid. The apparatus for processing a substrate includes a processing container for providing a processing space inside, a substrate supporting unit for supporting and rotating the substrate in the processing container, a nozzle for supplying the liquid to the substrate supported by the substrate supporting unit, and an irradiating unit for irradiating the supplied liquid with ultraviolet rays. An irradiation member for the irradiation of ultraviolet rays is located to be in contact with the liquid supplied on the substrate. Accordingly, a large amount of activated radicals can be supplied from low concentration processing liquid onto the substrate. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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04-05-2018 дата публикации

PRE-DISPENSE HOME PORT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE USING SAME

Номер: KR1020180045737A
Принадлежит:

The present invention provides a substrate processing apparatus which includes: a heating chuck including a heater capable of supporting a substrate and heating the substrate; a chemical liquid supply nozzle configured to supply chemical liquid to an upper surface of the substrate; a pre-dispense home port having an opened upper portion for containing non-steady chemical liquid pre-dispensed from the chemical liquid supply nozzle; and a processing chamber for containing the heating chuck, the pre-dispense home port, and the chemical liquid supply nozzle. The pre-dispense home port includes a cover portion covering the opened upper portion, where the cover portion has an opening for receiving the chemical liquid supply nozzle. According to the present invention, when the substrate processing apparatus and the pre-dispense home port are used, the generation of particles may be reduced and the defect rate may be reduced, so that the substrate may be heated without overheating and deformation ...

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07-03-2023 дата публикации

기판 처리 장치 및 방법

Номер: KR102505075B1
Автор: 한민성, 최기훈, 강병만
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 챔버와; 상기 챔버 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛과; 상기 챔버 내에 제공되며 기판을 반전시키는 반전 유닛과; 상기 지지 유닛에 지지된 기판으로 제 1 유체 또는 제 2 유체를 분사하는 분사 유닛과; 상기 반전 유닛과 상기 분사 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는, 기판의 제 1 면이 상부를 향하도록 기판이 상기 지지 유닛에 지지된 상태에서 상기 제 1 면으로 상기 제 1 유체를 분사하는 제 1 처리 단계를 수행하도록 상기 분사 유닛을 제어하고, 이 후, 상기 기판을 반전시키는 반전 단계를 수행하도록 상기 반전 유닛을 제어하고, 이 후, 상기 기판의 상기 제 1 면의 반대면인 제 2 면이 상부를 향하도록 상기 기판이 상기 지지 유닛에 지지된 상태에서 상기 제 2 면으로 상기 제 2 유체를 분사하는 제 2 처리 단계를 수행하도록 상기 분사 유닛을 제어한다.

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13-12-2017 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020170137241A
Принадлежит:

The present invention provides a device and a method for processing a substrate, which can efficiently process a substrate. According to an embodiment of the present invention, the substrate processing device comprises: a chamber providing a space to process a substrate; a supporting unit provided inside the chamber, and supporting the substrate; a spraying unit having a nozzle which supplies cleaning media to the substrate supported by the supporting unit; and an ionizer supplying ions to the substrate supported by the supporting unit. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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