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03-05-2024 дата публикации

웨이퍼 상의 막의 물성 추출 방법 및 이를 수행하기 위한 장치

Номер: KR20240057792A
Автор: 백인근, 박수환, 전익선, 구남일, 김인기, 김재호, 박준범, 전선홍
Принадлежит:

... 웨이퍼 상의 막의 물성 추출 방법에 따르면, 웨이퍼의 하부면으로 전자파들을 조사할 수 있다. 상기 전자파들 중에서 상기 웨이퍼의 상부면에 형성된 타겟막을 투과한 제 1 전자파 및 상기 타겟막으로부터 반사된 제 2 전자파를 검출하여 상기 제 1 전자파와 상기 제 2 전자파가 포함된 데이터를 획득할 수 있다. 상기 데이터에서 상기 제 1 전자파의 제 1 펄스와 상기 제 2 전자파의 제 2 펄스를 분리시켜서 상기 타겟막의 물성 데이터를 획득할 수 있다. 따라서, 타겟막의 물성 데이터에 웨이퍼에 의한 영향이 배제되어, 타겟막의 물성을 정확하게 추출할 수가 있게 된다.

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Номер записи: 1
17-01-2023 дата публикации

기준 시편을 갖는 검사 시스템 및 반도체 소자 형성 방법

Номер: KR20230009611A
Автор: 최성일, 박예은, 김경범, 류성윤, 안진우, 전선홍
Принадлежит:

... 검사 시스템은 타겟 시료가 안착되는 메인 지지대를 포함한다. 상기 메인 지지대에 인접한 보조 지지대가 제공된다. 상기 보조 지지대 상에 기준 시편이 배치된다. 상기 기준 시편에 인접한 세정 장치가 제공된다. 상기 메인 지지대 상에 대물 렌즈 유닛이 배치된다. 상기 대물 렌즈 유닛에 인접한 광원이 제공된다. 상기 대물 렌즈 유닛 및 상기 광원 사이에 분광기가 배치된다. 상기 대물 렌즈 유닛에 인접한 검출기가 제공된다. 상기 대물 렌즈 유닛 및 상기 검출기 사이에 결상기가 배치된다. 상기 검출기에 접속된 컴퓨터 시스템이 제공된다.

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Номер записи: 2
11-03-2025 дата публикации

광학 모듈, 초분광 이미징을 위한 분광 장치, 및 이를 이용한 이미징 측정 방법

Номер: KR20250034793A
Автор: 전선홍, 류성윤, 손영훈, 황은수
Принадлежит:

... 일 실시예에 따른 광학 모듈은, 슬릿으로 입사된 빔을 분광시키면서, 빔 경로를 회전시켜 푸리에 평면에 포커싱시키는 회절격자, 상기 포커싱된 빔의 각 파장에 대해 고유 주파수를 부여하며, 주파수 별로 푸리에 변환을 하는 디지털 마이크로 미러 어레이(DMD), 및 상기 디지털 마이크로 미러 어레이(DMD)에서 입사된 경로로 재반사되어 상기 회절격자를 거친 빔을 통과시키는 제1 광섬유를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 3
08-02-2024 дата публикации

Dual resolution spectrometer and spectrometric measurement apparatus and method using the spectrometer

Номер: KR20240017687A
Автор: 전선홍, 김재호, 손영훈
Принадлежит:

A dual resolution spectrometer includes a slit plate comprising a slit receiving light reflected from a measurement target. The slit plate directs the light reflected from the measurement target to a first mirror. The first mirror reflects light from the slit to a diffraction grating. The diffraction grating disperses light from the first mirror according to a wavelength of the light. The diffraction grating directs light in a first wavelength region to a second mirror and directs light in a second wavelength region to a third mirror. The second mirror reflects the light in the first wavelength region to a detector. The third mirror reflects the light in the second wavelength region to the detector. The detector detects the light in the first wavelength region and the light in the second wavelength region with different resolutions from each other.

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Номер записи: 4
13-10-2022 дата публикации

인삼열매 열분해 가공 추출물 제조방법 및 이를 유효성분으로 함유하는 항염증 및 주름개선 조성물

Номер: KR20220138602A
Автор: 백승태, 전선홍
Принадлежит:

... 이 발명은 열분해법으로 특정 진세노사이드 함량이 증대된 인삼열매 가공 추출물을 주성분으로 하여 피부 트러블을 진정 및 완화하고 주름생성을 방지할 수 있으며, 연속공정으로 열분해함으로써 빠른 시간내에 많은 양을 열분해가능한, 인삼열매 열분해 가공 추출물 제조방법 및 이를 유효성분으로 함유하는 항염증 및 주름개선 조성물에 관한 것이다.

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Номер записи: 5