05-12-2022 дата публикации
Номер: KR20220159678A
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... 본 발명은 글로브박스의 가스 치환 기술에 관한 것으로, 글로브박스의 컨트롤 시스템(Control System)에 오토 퀵 퍼징 시스템(Auto Quick Purging System)을 적용하여 자동으로 블로워를 통해 설정된 압력까지 가스를 배출시킬 수 있게 함으로서 가스소모량의 감소 및 치환시간을 단축시켜 효율성을 극대화할 수 있는 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스에 관한 것이다. 본 발명은 글로브 박스의 퍼징 시스템에 있어서, 블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80)를 포함하여 구성된 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다. 또한 본 발명은 콘트롤 시스템(50)에 메인챔버(90)의 내부의 압력의 상한값(H)과 하한값(L), 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도, 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도가 설정되는 과정(1과정), 블로워 자동밸브(30)를 열고 블로워(10)를 가동시켜서 메인챔버(90) 내부의 가스를 메인챔버(90) 내부의 압력이 상기 설정된 압력의 하한값(L)이 될때까지 배출하게 하는 과정(2과정), 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동 중지시키며 가스 솔레노이드 밸브(80)를 열어 메인챔버(90) 내부에 불활성 가스를 주입하는 과정을 수행하되 메인챔버(90) 내부의 압력이 기설정된 압력의 상한값(H)이 될 때까지 불활성 가스를 주입시키는 과정(3과정), 상기한 2과정 및 3과정을 반복하여 수행하되, 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 기설정된 수분의 농도 또는 산소의 농도에 도달할 때까지 반복되어 수행하는 과정(4과정), 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 상기 4과정의 기설정된 농도에 도달한 경우 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동중지 시키며, 정제기 자동밸브(40)를 열고 정제기(20)를 가동하게 하는 과정(5과정), ...
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