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29-01-2021 дата публикации

패턴 형성 방법, 가공 기판의 제조 방법, 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 전자 부품의 제조 방법, 임프린트 몰드의 제조 방법

Номер: KR102209277B1
Автор: 이토 도시키, 오타니 도모노리, 치바 게이코, 리우 웨이준, 스태초위악 브라이언 티모시
Принадлежит: 캐논 가부시끼가이샤

... 중합성 화합물인 성분 (a1) 및 용제인 성분 (d1)을 포함하는 경화성 조성물 (A1)의 층을 기판 표면에 적층하고, 상기 경화성 조성물의 층 상에, 적어도 중합성 화합물인 성분 (a2)를 포함하는 경화성 조성물 (A2)의 액적을 이산적으로 적하하고, 계속해서 몰드와 상기 기판의 사이에 상기 경화성 조성물 (A1) 및 상기 경화성 조성물 (A2)의 혼합층을 샌드위치하고, 상기 혼합층에 광을 조사함으로써 경화시키고, 상기 몰드를 경화 후의 상기 혼합층으로부터 분리하여, 상기 기판 상에 패턴을 형성한다.

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Номер записи: 1
20-06-2018 дата публикации

FLUID DROPLET METHOD FOR IMPRINT LITHOGRAPHY, AND APPARATUS THEREFOR

Номер: KR1020180067415A
Автор: FLETCHER BRIAN EDWARD, STACHOWIAK BRIAN TIMOTHY
Принадлежит:

An apparatus for imprint lithography is disclosed. The apparatus comprises a fluid distribution system having a fluid distribution port, a stage, and a logic element. The logic element determines a fluid droplet pattern for distributing a formable material onto a substrate during a first pass, wherein the substrate and the fluid distribution port are moved with respect to each other in a translational motion direction, transfers information to offset the fluid distribution port and substrate relative to each other in a direction different from the translational motion direction, and transfers information to distribute the formable material onto the substrate during a second pass. A method to generate a fluid droplet pattern can be carried out by the apparatus. COPYRIGHT KIPO 2018 (702) Determine a preset and predetermined fluid droplet pattern using an integral multiple of a preset minimum pitch (722) Determine an adjusted fluid droplet pattern based on the preset and predetermined fluid ...

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Номер записи: 2
26-11-2018 дата публикации

패턴 형성 방법, 가공 기판의 제조 방법, 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 전자 부품의 제조 방법, 임프린트 몰드의 제조 방법

Номер: KR1020180126027A
Автор: 이토 도시키, 오타니 도모노리, 치바 게이코, 리우 웨이준, 스태초위악 브라이언 티모시
Принадлежит:

... 중합성 화합물인 성분 (a1) 및 용제인 성분 (d1)을 포함하는 경화성 조성물 (A1)의 층을 기판 표면에 적층하고, 상기 경화성 조성물의 층 상에, 적어도 중합성 화합물인 성분 (a2)를 포함하는 경화성 조성물 (A2)의 액적을 이산적으로 적하하고, 계속해서 몰드와 상기 기판의 사이에 상기 경화성 조성물 (A1) 및 상기 경화성 조성물 (A2)의 혼합층을 샌드위치하고, 상기 혼합층에 광을 조사함으로써 경화시키고, 상기 몰드를 경화 후의 상기 혼합층으로부터 분리하여, 상기 기판 상에 패턴을 형성한다.

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Номер записи: 3
20-01-2021 дата публикации

FLUID DROPLET METHODOLOGY AND APPARATUS FOR IMPRINT LITHOGRAPHY

Номер: KR102205141B1
Автор: 플렛쳐 브라이언 에드워드, 스태초위악 브라이언 티모시
Принадлежит: 캐논 가부시끼가이샤

... 임프린트 리소그래피용 장치가 개시된다. 장치는 유체 분배 포트를 포함하는 유체 분배 시스템, 스테이지, 및 논리 소자를 포함할 수 있다. 논리 소자는 유체 액적 패턴을 결정하도록; 제1 통과 중에 형성 가능 재료를 기재 상에 분배하기 위한 정보를 전달하도록, - 기재 및 유체 분배 포트가 병진운동 방향으로 서로에 대해서 이동됨 - ; 기재 및 유체 분배 포트를 병진운동 방향과는 다른 방향으로 서로에 대해서 오프셋시키기 위한 정보를 전달하도록; 그리고 제2 통과 중에 형성 가능 재료를 기재 상에 분배하기 위한 정보를 전달하도록 구성될 수 있다. 유체 액적 패턴을 생성하는 방법이 장치를 이용하여 실시될 수 있다.

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Номер записи: 4