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30-05-2017 дата публикации

기판 처리 장치 및 방법

Номер: KR0101736853B1
Автор: 박정영, 이슬, 김대민
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 방법은, 상부가 개방된 컵 내에 배치된 스핀 헤드에 놓인 기판을 회전시키면서 상기 기판으로 처리액을 공급하여 기판을 처리하는 기판 처리 단계와; 상기 스핀 헤드에서 기판이 제거된 상태에서 상기 스핀 헤드를 회전시키면서 상기 스핀 헤드의 상면으로 세정액을 공급하여 상기 컵을 세정하는 컵 세정 단계를 포함하되, 상기 컵 세정 단계에서 상기 스핀 헤드의 회전 속도는 상기 기판 처리 단계에서 상기 스핀 헤드의 회전 속도보다 빠르다.

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Номер записи: 1
10-03-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUPPORT UNIT MANUFACTURING METHOD

Номер: KR1020160027390A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, MIN KYU, PARK, CHANG WOOK
Принадлежит:

The present invention provides a substrate processing device. According to an embodiment of the present invention, the substrate processing device includes: a housing providing a processing space inside; and a support unit supporting and heating a substrate in the processing space. The support unit includes: a support plate supporting the substrate; a heating unit installed on the support plate in a pattern shape; and a terminal member having a terminal unit applying current to the heating unit. The terminal unit includes an oxidation prevention film doped with a different material from the terminal unit, on the surface. The oxidation prevention film is formed by one among an alloy, an ion implantation method, and a vacuum coating method. COPYRIGHT KIPO 2016 (AA) Start (BB) End (S110) Dopping MG on Cu terminal unit (S120) Forming Mgo oxidation prevention film (S130) Annealing and forming an expansion prevention film ...

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Номер записи: 2
08-12-2016 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020160141296A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, SUL, LEE, BOK KYU, LEE, JAE MYOUNG
Принадлежит:

The present invention relates to a device for treating a substrate. According to an embodiment of the present invention, the device for treating the substrate includes: an injection member which has a first nozzle for supplying first liquid to a substrate placed on a support unit, and a second nozzle for supplying second liquid different from the first liquid on the substrate placed on the support unit; and a controller which supplies the first liquid before suppling the second liquid and controlling to supply the different kinds of the first liquid according to the kind of a thin film on the substrate placed on the support unit. Accordingly, the present invention can reduce time for coating chemical on the substrate. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 3
22-12-2016 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020160147164A
Автор: PARK, JEONG YEONG, LEE, SUL, KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention relates to a method for processing a substrate. The method for processing a substrate according to an embodiment of the present invention includes: a substrate processing step of processing the substrate by supplying processing solutions to the substrate while rotating the substrate loaded on a spin head arranged in a cup with an opened upper side; and a cup cleaning step of cleaning the cup by supplying cleaning solutions to the upper side of the spin head while rotating the spin head when the substrate is removed from the spin head. In the cup cleaning step, the rotating speed of the spin head in the cup cleaning step is faster than the rotating speed of the spin head in the substrate processing step. Accordingly, the present invention can clean the cup which is contaminated after the substrate processing step. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) Forming an airflow ...

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Номер записи: 4
08-05-2024 дата публикации

멀티 수조 칸막이

Номер: KR102664573B1
Автор: 김대민, 박형근
Принадлежит: 동서대학교 산학협력단

... 본발명은 멀티 수조 칸막이에 관한 것으로, 수조(100)를 칸막이(10)에 의해 두 개로 나누어 구성하되, 상기 칸막이(10)는 합성수지재질판에 구멍(11)을 다수개 형성하여 수류의 순환이 가능한 것으로 수조에 착탈가능한 것을 특징으로 한다. 또한, 멀티 수조 칸막이(10)는 수압의 힘으로 좌우측가이드(14, 15)가 수조측면에 고정되는 것으로, 어떤 수조 사이즈에도 맞게 조절이 가능하며, 고정장치 및 접착장치등이 필요 없으며, 설치 및 철거가 간단하며, 분할된 수조 양쪽의 물 흐름이 탁월하며, 한수조에 두가지 이상의 어종 및 생물을 사육가능하여, 여과기 추가 장착이 필요 없어 경비절감이 되는 현저한 효과가 있다.

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Номер записи: 5
12-10-2018 дата публикации

트래드밀용 보행치료 보조장치

Номер: KR0101907755B1
Автор: 김대민, 정현석, 최현희, 박창현, 황상연
Принадлежит: 동서대학교 산학협력단

... 본발명은 트래드밀용 보행치료 보조장치에 관한 것으로, 트래드밀의 하부에 설치되어 보행을 하는 사람들의 발바닥이 접촉되며 모터에 의해 회전되는 벨트부(1000)와, 상기 벨트부(1000) 주위 양측과 전면에 설치되는 프레임과, 상기 프레임(100) 내부에 설치되며, 사용자가 몸통을 기댈 수 있게 된 몸통지지대(200)와, 상기 프레임(100) 상단에 결합되는 손잡이(500)로 이루어지되, 상기 몸통지지대(200)는 프레임(100)과 별개로 동작되는 것으로,본발명은 트래드밀에 설치되는 몸통지지대가 엉덩이 부분을 감싸며 체중을 지탱할 수 있으며, 벨트에 의해 다양한 체격의 사람들이 사용할 수 있으며, 액추에이터가 조인트 형태로 설치되어, 트래드밀에서 보행치료를 하면서 골반회전을 안정적으로 편리하게 제한 할 수 있는 현저한 효과가 있다.

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20-03-2023 дата публикации

이동용 주차 정산 시스템

Номер: KR102512288B1
Автор: 김대민, 양재원, 김헌률, 김하용, 곽경호, 오승훈
Принадлежит: 동서대학교 산학협력단

... 본발명은 이동용 주차 정산 시스템에 관한 것으로, 차량이 주차정산기에 진입하는 것을 감지하는 센서부; 통신모듈; 센서로부터의 신호를 전송받아 차량거리를 인식하고 거치대를 움직여 차량과의 거리를 조절하는 제어기;로 구성되는 것으로, 본발명은 초보 운전자 뿐만 아니라, 거동이 불편한 운전자들이보다 편하게 이용할 수 있는 환경이 마련되며, 거치대가 앞으로 나와, 초보운전자가 수차례 움직이면서 생기는 접촉사고를 예방할 수 있으며, 주차장의 회전률을 높여 차가 밀리는 것을 방지하며, 운전자의 편리성이 있는 것으로, 정산기와 근접하지 않아도 계산이 가능하여 정산기와 챠량간 충돌을 방지하며 주차장운영자들의 경제성이 증가하는 현저한 효과가 있다. 또한 주차 차량 동선을 고려해 정산기의 위치를 알맞은 곳에 설치하여 안전사고 방지 및 민원이 많이 줄어드는 현저한 효과가 있다.

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10-09-2018 дата публикации

기판 처리 장치 및 방법

Номер: KR0101895931B1
Автор: 김대민, 이성수
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 상면에 제 1 물질과 제 2 물질을 포함하는 기판에서 상기 제 2 물질을 식각하는 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 방법은 기판을 지지 유닛 상에 지지한 상태에서 제 1 가스로부터 제 1 플라스마를 형성하여 상기 제 2 물질 상에 반응층을 형성하는 반응층 형성 단계;와 상기 기판을 상기 지지 유닛 상에 지지한 상태에서 상기 반응층에 대해 물리적 식각을 수행하는 물리적 식각 단계;를 포함한다.

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11-01-2019 дата публикации

근력강화기의 등속성 자동조절방법

Номер: KR1020190004075A
Автор: 최현희, 김대민
Принадлежит:

... 본발명은 근력강화기의 등속성 자동조절방법에 관한 것으로, 사용자의 가해지는 힘에 따라 근력강화기의 하중을 자동으로 조절하는 것으로, 본발명은 사용자의 가하는 힘에 따라 근력강화기의 하중을 자동으로 조절하게 되어 사용자가 힘이 크게 주어지지 못하는 초기 시작위치 등에서는 적은 힘으로라도 근력강화기의 하중을 이겨낼 수 있어서, 무거운 하중을 충분히 움직일 수 있는 등 사용자의 운동 위치에 따라서 이에 맞게 하중이 설정됨으로써 근력강화 효과가 크며 재미있게 사용할 수 있는 현저한 효과가 있다.

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Номер записи: 9
08-01-2019 дата публикации

자율보행보조기 동작방법

Номер: KR1020190002188A
Автор: 주철민, 김대민, 권제성, 최현섭, 김재경, 이동건
Принадлежит:

... 본 발명은 자율보행보조기 동작방법에 관한 것으로, 사용자가 서서 보행할 수 있게 사람주위로 일정거리 이격되어 설치되는 프레임(100)의 상에는 제어반(120)이 설치되고 상기 제어반(120) 상면에는 손잡이(110)가 설치되며, 상기 프레임(100) 하부에는 바퀴(200)가 장착되고, 상기 바퀴(200)는 모터(300)에 의해 구동되되, 자동보행 모드와 수동보행 모드로 구분되어 동작되는 것으로, 본 발명은 보행을 자율적으로 또는 자동/수동으로 도와주게 되어, 노인이나 환자들에게 오랜 시간 이용하여 효율적인 운동에 도움이 되며, 활동량을 증가로 인한 노인, 환자 삶의 질이 향상되며, 노인이나 환자들이 겪는 일상생활의 불편함을 해소하고, 재활활동 분야에서 큰역할을 하여 보다 윤택한 삶을 누릴 수 있게 하는 현저한 효과가 있다.

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Номер записи: 10
03-02-2023 дата публикации

멀티 수조 칸막이

Номер: KR20230016860A
Автор: 김대민, 박형근
Принадлежит:

... 본발명은 멀티 수조 칸막이에 관한 것으로, 수조(100)를 칸막이(10)에 의해 두 개로 나누어 구성하되, 상기 칸막이(10)는 합성수지재질판에 구멍(11)을 다수개 형성하여 수류의 순환이 가능한 것으로 수조에 착탈가능한 것을 특징으로 한다. 또한, 멀티 수조 칸막이(10)는 수압의 힘으로 좌우측가이드(14, 15)가 수조측면에 고정되는 것으로, 어떤 수조 사이즈에도 맞게 조절이 가능하며, 고정장치 및 접착장치등이 필요 없으며, 설치 및 철거가 간단하며, 분할된 수조 양쪽의 물 흐름이 탁월하며, 한수조에 두가지 이상의 어종 및 생물을 사육가능하여, 여과기 추가 장착이 필요 없어 경비절감이 되는 현저한 효과가 있다.

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Номер записи: 11
26-01-2023 дата публикации

길이 조절이 가능한 울림통을 갖는 장구

Номер: KR20230012174A
Автор: 김대민, 김상영, 김선옥, 강은미
Принадлежит:

... 본 발명은 울림통을 슬라이딩 가능하도록 구성하여 양측으로 길이조절을 함으로써 이동 및 보관시 부피를 최소화하여 공간을 작게 차지할 수 있도록 하는 길이 조절이 가능한 울림통을 갖는 장구를 제공한다. 본 발명은 양측이 개방되고, 내부에 중공(21)이 형성된 원통형상의 중앙울림통(20)과; 상기 중앙울림통(20)의 양측에 안테나 형식으로 길이 조절이 가능하도록 결합되는 복수개의 슬라이딩울림통(30)과; 상기 슬라이딩울림통(30)의 외측에 위치되는 링 형상의 외측프레임(40)과; 내측이 상기 슬라이딩울림통(30)에 밀착되고, 외측 테두리가 상기 외측프레임(40)에 고정되는 가죽편(50)과; 일측이 상기 슬라이딩울림통(30)에 결합되고, 타측이 상기 외측프레임(40)에 결합되는 고정부재(60)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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Номер записи: 12
07-03-2017 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020170024213A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, JIN BOK, LEE, BOK KYU, LEE, JAE MYOUNG
Принадлежит:

The present invention provides a method and apparatus for liquid-treating a substrate. The present invention relates to a method of cleaning a hydrophobic membrane formed on the substrate, including a pre-wetting step of supplying a pre-wetting liquid onto the substrate to change the surface of the hydrophobic membrane into hydrophilic surface and a cleaning treatment step of supplying a chemical onto the substrate after the pre-wetting step. The pre-wetting liquid includes an organic solvent or a surfactant. The organic solvent or the surfactant is supplied to the hydrophobic membrane to change the property of the hydrophobic membrane into a hydrophilic property. As a result, the hydrophobic membrane can be subjected to a wet cleaning treatment. So, the cleaning efficiency for the surface can be improved. COPYRIGHT KIPO 2017 (500) Controller (AA) Chemical (BB) Rinsing liquid ...

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Номер записи: 13
08-01-2019 дата публикации

기판처리장치 및 기판처리방법

Номер: KR1020190002112A
Автор: 김대민
Принадлежит:

... 본 발명은 기판에 형성된 패턴의 리닝 현상을 방지함과 아울러 기판 처리 효율을 향상시킬 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 기판처리장치는, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지에 구비되어 약액이 도포된 상기 기판을 냉각 및 가열하는 온도조절부를 포함하여 구성된다. 본 발명의 기판처리방법은, 약액이 도포된 기판을 공정챔버 내로 반입하는 단계와, 상기 공정챔버 내로 초임계유체가 공급되기 전까지 상기 공정챔버 내로 반입된 기판을 냉각하는 단계를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면, 공정챔버 내로 반입된 기판에 잔류하는 약액이 초임계유체가 공급되기 전에 증발되는 것을 방지하여 기판에 형성된 패턴의 리닝 현상을 방지함으로써, 기판 처리의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

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Номер записи: 14
16-05-2016 дата публикации

HOME PORT, APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE INCLUDING SAME AND METHOD FOR REMOVING STATIC ELECTRICITY

Номер: KR1020160054145A
Автор: KIM, DAE MIN, MIN, CHUNG KI, LEE, JUNG YUL
Принадлежит:

The present invention relates to an apparatus for treating a substrate. The apparatus for treating a substrate according to an embodiment of the present invention includes a housing, a substrate support unit, a solution supply unit having a nozzle of injecting a process solution, and a home port for waiting a nozzle. The home port includes a body having an injection space and a humidity control unit. The humidity control unit increases relative humidity in the injection space, thereby removing the static electricity of the nozzle waiting in the home port. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 15
08-01-2019 дата публикации

기판처리장치 및 기판처리방법

Номер: KR1020190002060A
Автор: 강병주, 김대민, 정유선
Принадлежит:

... 본 발명은 기판에 잔류하는 약액을 신속하게 제거하여 기판의 건조 효율을 향상시킬 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공함에 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 기판처리장치는, 초임계유체를 이용하여 약액이 도포된 기판을 건조하는 공정챔버와, 상기 공정챔버로 공급되는 초임계유체의 밀도가 상기 약액의 밀도보다 높은 상태가 되도록 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판처리방법은, a) 약액이 도포된 기판을 공정챔버 내로 반입하는 단계와, b) 상기 약액의 밀도보다 높은 밀도를 갖는 초임계유체를 상기 공정챔버 내로 공급하는 단계를 포함하여 구성된다.

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Номер записи: 16
29-11-2016 дата публикации

APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020160135904A
Автор: PARK, JEONG YEONG, KIM, DAE MIN, LEE, SUL
Принадлежит:

The present invention provides an apparatus and a method for processing a substrate using a liquid. A substrate processing apparatus comprises: a process container having a process space in which the substrate is processed; a substrate support unit including a support plate, which supports the substrate in the processing space, and a rotation driving member which rotates the support plate; and a cleaning unit which cleanses an upper surface of the support plate. The cleaning unit includes: a cleaning nozzle which supplies a cleaning liquid to an upper surface of the substrate; a nozzle moving member which moves the nozzle; and a controller which controls the nozzle moving member. The controller controls the nozzle moving member such that a first cleaning step of supplying the cleaning liquid to a first cleaning position and a second cleaning step of supplying the cleaning liquid to a second cleaning position are sequentially performed when the upper surface of the support plate is cleansed ...

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Номер записи: 17
24-11-2016 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020160134922A
Автор: LEE, SUL, KIM, DAE MIN, PARK, JEONG YEONG
Принадлежит:

The present invention relates to an apparatus for processing a substrate. The apparatus for processing the substrate according to an embodiment of the present invention includes: a cup providing a processing space processing the substrate; a support unit including a body which is arranged in the processing space and supports the substrate and has a hollow formed at a center, and a driver rotating the body; a cleaning solution spraying member supplying a cleaning solution to an upper plane of the body; a back nozzle unit which has a support axis inserted into the hollow of the body and and a skirt which is combined to an upper part of the support axis and is provided to protrude from the upper plane of the body, and sprays the cleaning solution to a bottom of the substrate; and a controller controlling the cleaning solution spraying member and the support unit. The controller controls the cleaning solution spraying member so that the cleaning solution is sprayed to an inner edge of the upper ...

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Номер записи: 18
09-02-2018 дата публикации

METHOD FOR OPERATING ASSIST DEVICE FOR GAIT THERAPY WITH LIMITED PELVIC ROTATION

Номер: KR101828179B1
Автор: KIM, DAE MIN, JUNG, HYUN SEOK, CHOI, HYUN HEE, PARK, CHANG HYEON, HWANG, SANG YEON
Принадлежит: DONGSEO TECHNOLOGY HEADQUTERS

The present invention relates to a method for operating an assist device for gait therapy with limited pelvic rotation, wherein the assist device for gait therapy comprises: a frame (100) to which a wheel (400) is coupled; a body support (200) installed inside the frame (100) to allow a person to lean on the body (100); and a handle (500) coupled to an upper end of the frame (100), wherein the body support (200) is operated separately from the frame (100) to support the weight by wrapping around the hips, the belt can be used by people of various sizes, and an actuator is installed in the form of a joint, so that the pelvic rotation can be stably and conveniently limited. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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Номер записи: 19
16-05-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING STATIC ELECTRICITY

Номер: KR1020160054143A
Автор: KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus. According to an embodiment of the present invention, the substrate processing apparatus comprises: a processing module for supplying liquid chemical to a substrate, and processing the substrate; a transferring module arranged to be adjacent to the processing module, and transferring the substrate between the processing modules; and an ion generating device for supplying ions to a nozzle for discharging liquid inside the processing module. By supplying the ions to the nozzle, static electricity of the nozzle can be removed. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 20
26-10-2018 дата публикации

DEVICE FOR MIXING CHEMICAL LIQUID AND SUPERCRITICAL FLUID

Номер: KR1020180116802A
Автор: SHIN, IN CHUL, KANG, BYOUNG JU, KIM, DAE MIN, KIM, DONG MIN
Принадлежит:

The present invention aims to provide a device for mixing a chemical liquid and a supercritical fluid, in which the mixing of a chemical liquid and a supercritical fluid can be quickly and smoothly performed while preventing contamination of the interior of a chamber of the mixing device to shorten a substrate cleaning time. In order to accomplish the same, the device for mixing the chemical liquid and the supercritical fluid, as the device for mixing the chemical liquid and the supercritical fluid for washing the substrate, comprises: a chamber in which the chemical liquid and the supercritical fluid are supplied and mixed; and a vibration generating unit provided outside the chamber to cause vibration of the chemical liquid and supercritical fluid in the chamber to cause mixing. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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Номер записи: 21
16-05-2016 дата публикации

HOME PORT, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING SAME AND METHOD FOR REMOVING STATIC ELECTRICITY

Номер: KR1020160054142A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, JUNG HYUN, CHOI, JONG SU
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate treating apparatus. The substrate treating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a housing, a substrate support unit, a solution supply unit having a nozzle for injecting a process solution, and a home port in which the nozzle stands by. The home port includes a body having an injection space and a solution injection unit. The solution injection unit sprays a static electricity removing solution including a surfactant to the nozzle which stands by in the home port, and then removes the static electricity from the nozzle by spraying a static electricity removing solution including thinner. So, the static electricity of the nozzle can be removed. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 22
06-12-2017 дата публикации

SUBSTRATE TREATMENT DEVICE AND METHOD

Номер: KR1020170133693A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, YOUNG HUN
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate treatment method of removing particles in a recess portion in a substrate having a thin film on which a pattern having the recess portion is formed. According to an embodiment of the present invention, the method includes: making treatment liquid containing supercritical organic liquid chemicals infiltrate into the recess portion; and heating a substrate after the infiltration step. COPYRIGHT KIPO 2017 (S10) Penetration step (S20) Heating step ...

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Номер записи: 23
22-06-2015 дата публикации

APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020150068761A
Автор: KIM, DAE MIN
Принадлежит:

An apparatus for treating substrates comprises: a substrate support unit supporting a substrate; and a liquid medicine supply unit supplying an organic solvent, a rinse liquid, and chemicals on the substrate supported on the substrate support unit. The liquid medicine supply unit comprises: an organic solvent supply member supplying the organic solvent; a rinse liquid supply member having a first nozzle which supplies the rinse liquid; a chemical supply member having a second nozzle which supplies the chemicals; and a controller controlling the organic solvent supply member, the rinse liquid supply member, and the chemical supply member so that the organic solvent, the rinse liquid, and the chemicals are sequentially supplied. COPYRIGHT KIPO 2015 (480) Controller ...

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Номер записи: 24
24-11-2016 дата публикации

APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE AND CLEANING METHOD THEREOF

Номер: KR1020160134924A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, SUL, PARK, JEONG YEONG
Принадлежит:

The present invention relates to an apparatus for processing a substrate and a cleaning method thereof. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for processing the substrate includes: a container having a processing space processing the substrate in an inside thereof; a support unit having a support plate supporting the substrate while being located in the processing space, a spraying head which is provided at a center area of the support plate and supplies a fluid to a bottom of the substrate placed on the support plate, and a fastening member fastening the spraying head to the support plate; and a cleaning unit cleaning an upper plane of the support plate. The cleaning unit includes: a nozzle supplying a cleaning solution; a nozzle driving member moving the nozzle; and a controller controlling the nozzle driving member. The controller controls the nozzle driving member so that a discharging position of the cleaning solution from the nozzle is located between ...

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Номер записи: 25
22-05-2024 дата публикации

초임계 건조 장치 및 이의 동작 방법

Номер: KR20240071044A
Автор: 김대민, 김규현, 김대성, 문현지, 이상섭
Принадлежит:

... 본 발명의 일 실시예에 따른 초임계 건조 장치는, 초임계 건조 공정이 수행되는 공간부를 구비하는 반응 용기와, 공간부의 제1 부분에 연결되며 초임계 유체를 공급하는 제1 공급부와, 공간부의 제2 부분에 연결되며 초임계 유체보다 낮은 압력을 가지는 저압 유체를 공급하는 제2 공급부와, 공간부의 제3 부분에 형성되어 공간부로부터 배출 물질을 배출하는 배출부를 포함한다.

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Номер записи: 26
11-05-2016 дата публикации

DESK HAVING USED PAPER COLLECTION FUNCTION

Номер: KR1020160051211A
Автор: KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention relates to a deck which allows users to conveniently and easily collect used paper without making an effort to place an additional collection container next to the desk. According to the present invention, a desk having a used paper collection function comprises a table wherein a predetermined length of a groove is formed on the top of the table. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 27
14-03-2025 дата публикации

약독화된 돼지 유행성 설사병 CKT-7N 바이러스 및 이를 포함하는 돼지 유행성 설사병 백신용 조성물

Номер: KR20250036756A
Автор: 탁동섭, 김대민, 이건희, 강상민
Принадлежит:

... 본 발명은 약독화된 돼지 유행성 설사병 CKT-7N 바이러스 및 이를 포함하는 돼지 유행성 설사병 백신용 조성물에 관한 것으로, 돼지에 병원성을 나타내지 않으면서도 우수한 돼지 유행성 설사병 바이러스에 대해 면역 반응을 유도할 수 있을 뿐만 아니라, 다음 세대의 자돈에게까지 면역력을 부여할 수 있으므로, 돼지 유행성 설사병 백신 용도로 효과적으로 활용될 수 있다.

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Номер записи: 28
26-11-2018 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER

Номер: KR1020180125764A
Автор: KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention provides a substrate processing chamber which prevents a particle from being mixed on a substrate in a process in which a supercritical fluid flows into the inside of the chamber, and further, improves substrate processing performance by uniformly dispersing the supercritical fluid to be supplied to the inside of the chamber. To achieve this, according to the present invention, the substrate processing chamber comprises a shower head spraying the supercritical fluid to be supplied to the inside of the chamber upwards or downwards, and the shower head forms at least one spray hole in a portion that does not correspond to the substrate. COPYRIGHT KIPO 2019 ...

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29-05-2018 дата публикации

WALKING TREATMENT ASSISTING DEVICE FOR TREADMILL

Номер: KR1020180056538A
Автор: KIM, DAE MIN, JUNG, HYUN SEOK, CHOI, HYUN HEE, PARK, CHANG HYEON, HWANG, SANG YEON
Принадлежит:

The present invention relates to a method for operating a walking treatment assisting device for a treadmill, comprising: a belt part (1,000) installed at a lower portion of a treadmill to be in contact with the soles of walking people, and rotated by a motor; a frame installed on both sides and a front side of the belt part (1,000); a body support (200) installed in the frame (100), and allowing a user to lean his or her body thereon; and a handle (500) coupled to an upper end of the frame (100), wherein the body support (200) is operated separately from the frame (100). According to the present invention, the body support installed in the treadmill can support the weight of the user by surrounding the buttocks of the user. In addition, the walking treatment assisting device of the present invention can be used by people having various physiques by a belt. Furthermore, since an actuator is installed in the form of a joint, there is a great effect that the pelvis rotation can be stably ...

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11-10-2017 дата публикации

APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020170110199A
Автор: KIM, DAE MIN, PARK, SO YOUNG, LEE, MU HYEON
Принадлежит:

An embodiment of the present invention provides an apparatus and a method for treating a substrate with a liquid. The substrate treatment apparatus comprises: a substrate support unit for supporting a substrate; a liquid supply unit for supplying a liquid to the substrate supported by the substrate support unit; and a controller for controlling the liquid supply unit. The liquid supply unit includes: a first nozzle for supplying a first liquid; and a second nozzle for supplying a second liquid. A second area to which the second liquid is supplied on the substrate is provided to be included in a first area to which the first liquid is supplied on the substrate. The first liquid and the second liquid supplied as a hydrophobic material are discharged with different methods. Therefore, various sizes of particles can be removed by each discharge method. COPYRIGHT KIPO 2017 ...

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25-01-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер: KR1020160008718A
Автор: KANG, JUN KEE, CHOI, JONG SU, KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing device. According to an embodiment of the present invention, the substrate processing device includes: a processing container including a processing space; a substrate support unit supporting a substrate in the processing space; and a spray unit supplying processing fluids to the substrate, supported by the substrate support unit. The spray unit includes: a fluid nozzle supplying the fluids; a first gas nozzle supplying first gas; a second gas nozzle supplying second gas; a nozzle support bar on which the fluid nozzle, the first gas nozzle, and the second gas nozzle are installed; a support shaft supporting the nozzle support bar; and an operator placed on the bottom of the support shaft to operate the support shaft. A distance between the fluid nozzle and the first gas nozzle is different from a distance between the fluid nozzle and the second gas nozzle. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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22-06-2015 дата публикации

UNIT FOR SUPPLYING CHEMICAL

Номер: KR1020150068758A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, KANG SUK, LEE, SUL, PARK, MIN JUNG
Принадлежит:

The present invention includes a reductant supplying step of providing a reductant which reacts with gas dissolved in a cleaning solution to the cleansing solution; a chemical filtering step of filtering particles including the reductant by allowing the cleaning solution to pass through a filter member; and a cleansing solution supply step of supplying the filtered cleansing solution to a nozzle and supplies the cleaning solution on a substrate. The cleaning solution including the dissolved gas is physically degassed and is secondary degassed to improve the degasification rate of the cleaning solution. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

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21-12-2016 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер: KR1020160145866A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, SUL, LEE, BOK KYU, LEE, JAE MYOUNG
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus and a substrate processing method. The substrate processing apparatus according to an aspect of the present invention includes a support member with a spin head rotatable in a state of supporting a substrate thereon; a nozzle member having a liquid supply nozzle for supplying a liquid to the substrate placed in the support member; and a control member for controlling the support member and the nozzle member. The control member controls the liquid supply nozzle to supply the liquid at a spaced position from the rotation center axis of the substrate in a radial direction in a process of supplying the liquid from the liquid supply nozzle to the upper surface of the substrate. So, the substrate can be efficiently processed. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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26-01-2023 дата публикации

끝까지 사용 가능한 펌핑기

Номер: KR20230012180A
Автор: 김대민, 최경원, 성동주
Принадлежит:

... 본발명은 끝까지 사용 가능한 펌핑기에 관한 것으로, 용기와; 펌핑호스가 하부에 장착되는 펌핑밸브;로 구성되는 끝까지 사용 가능한 펌핑기에 있어서, 상기 펌핑호스 상단에는 구멍이 형성되어 뒤집을 경우 잔류 액체가 상기 구멍을 통해 펌핑밸브로 유입되는 것으로, 본발명은 펌핑기의 펌핑 호스 부에 구멍을 형성하여 끝까지 사용 가능하여 경제적이고 환경친화적인 현저한 효과가 있다.

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30-09-2022 дата публикации

실내 위치 추적이 가능한 운반대차 및 운반대차 관리 시스템

Номер: KR102448856B1
Автор: 김대민, 김경조
Принадлежит: 동서대학교 산학협력단, 김경조

... 실내 위치 추적이 가능한 운반대차 및 운반대차 관리 시스템이 개시된다. 실내 위치 추적이 가능한 운반대차는, 좌우로 배열되는 구동 바퀴와 상기 구동 바퀴를 구동하는 좌우측 전동 모터 및 운반 대상 적재물을 적재하는 적재 테이블을 포함하는 대차 본체부와, 상기 적재 테이블 및 상기 대차 본체부의 하단에 사각의 틀로 형성된 하부프레임 사이에 위치하고 사용자의 작업 높이 또는 적재물의 이동 위치의 높이로 승하강 가능하도록 하기 위한 승하강 구동부를 포함하는 리프팅부와, 상기 대차 본체부의 일측에 구비되고, 상기 대차 본체부로 전달되는 힘을 감지하는 한 쌍의 힘 감지 센서를 포함하는 손잡이부와, UWB(Ultra-wideband) 신호를 이용하여 상대적 위치를 측정하고 측정된 위치 정보에 기초하여 실내 위치 추적을 수행하는 UWB 센서 모듈과, 상기 대차 본체부에 부착되고 긴급 정지를 지원하기 위한 긴급 정지 버튼과, 운반대차의 주행속도와 전진 및 후진을 제어하고 상기 리프팅부의 조작을 제어하는 제어부 및 상기 적재 테이블에 적재되는 물건의 무게를 표시하는 디스플레이부를 포함한다.

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18-05-2017 дата публикации

기판 처리 장치 및 방법

Номер: KR0101736871B1
Автор: 김대민, 이슬, 이복규, 이재명
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 지지 유닛에 놓인 기판에 제 1 액을 공급하는 제 1 노즐과 지지 유닛에 놓인 기판에 제 1 액과 상이한 제 2 액을 공급하는 제 2 노즐을 가지는 분사 부재; 제 2 액을 공급하기 전에 제 1 액을 공급하되, 지지 유닛에 놓인 기판 상의 박막의 종류에 따라 서로 상이한 종류의 제 1 액을 공급하도록 제어하는 제어기;를 포함한다.

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12-12-2017 дата публикации

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD

Номер: KR1020170136786A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, YOUNG HUN
Принадлежит:

The present invention relates to a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a liquid processing chamber for liquid-processing a substrate; a drying chamber for drying the substrate; and a transfer unit for transferring the substrate between the liquid processing chamber and the drying chamber. The liquid processing chamber is to liquid-process the substrate with a processing liquid at a temperature lower than room temperature. The transfer unit transfers the substrate from the liquid processing chamber to the drying chamber while the processing liquid remains on the substrate. It is possible to prevent the substrate from being dried during transfer. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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26-01-2023 дата публикации

이동용 주차 정산 시스템

Номер: KR20230012179A
Автор: 김대민, 양재원, 김헌률, 김하용, 곽경호, 오승훈
Принадлежит:

... 본발명은 이동용 주차 정산 시스템에 관한 것으로, 차량이 주차정산기에 진입하는 것을 감지하는 센서부; 통신모듈; 센서로부터의 신호를 전송받아 차량거리를 인식하고 거치대를 움직여 차량과의 거리를 조절하는 제어기;로 구성되는 것으로, 본발명은 초보 운전자 뿐만 아니라, 거동이 불편한 운전자들이보다 편하게 이용할 수 있는 환경이 마련되며, 거치대가 앞으로 나와, 초보운전자가 수차례 움직이면서 생기는 접촉사고를 예방할 수 있으며, 주차장의 회전률을 높여 차가 밀리는 것을 방지하며, 운전자의 편리성이 있는 것으로, 정산기와 근접하지 않아도 계산이 가능하여 정산기와 챠량간 충돌을 방지하며 주차장운영자들의 경제성이 증가하는 현저한 효과가 있다. 또한 주차 차량 동선을 고려해 정산기의 위치를 알맞은 곳에 설치하여 안전사고 방지 및 민원이 많이 줄어드는 현저한 효과가 있다.

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23-08-2022 дата публикации

기판처리장치 및 기판처리방법

Номер: KR102434561B1
Автор: 김대민
Принадлежит: 주식회사 케이씨텍

... 본 발명은 기판에 형성된 패턴의 리닝 현상을 방지함과 아울러 기판 처리 효율을 향상시킬 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 기판처리장치는, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지에 구비되어 약액이 도포된 상기 기판을 냉각 및 가열하는 온도조절부를 포함하여 구성된다. 본 발명의 기판처리방법은, 약액이 도포된 기판을 공정챔버 내로 반입하는 단계와, 상기 공정챔버 내로 초임계유체가 공급되기 전까지 상기 공정챔버 내로 반입된 기판을 냉각하는 단계를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의하면, 공정챔버 내로 반입된 기판에 잔류하는 약액이 초임계유체가 공급되기 전에 증발되는 것을 방지하여 기판에 형성된 패턴의 리닝 현상을 방지함으로써, 기판 처리의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

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07-12-2017 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE

Номер: KR1020170134812A
Автор: KIM, DAE MIN, LEE, SEONG SOO
Принадлежит:

The present invention provides a device and a method capable of etching a substrate with a high etching selection ratio. The present invention relates to a method for treating the substrate etching a second material on the substrate including a first material and the second material on an upper surface thereof. According to an embodiment of the present invention, the method for treating the substrate comprises: a reaction layer forming step of forming first plasma from a first gas in a state of supporting the substrate on a supporting unit and forming a reaction layer on the second material; and a physical etching step of performing a physical etching with respect to the reaction layer in the state of supporting the substrate on the supporting unit. COPYRIGHT KIPO 2017 (S10) Forming a reaction layer (S21) Forming plasma (S22) Applying an electric field ...

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04-01-2019 дата публикации

기판 처리용 챔버

Номер: KR1020190001222A
Автор: 김대민
Принадлежит:

... 본 발명은 챔버 내부로 유입되는 초임계 유체가 버퍼공간을 통과하며 감압된 후 샤워헤드의 분사홀을 통해 기판에 공급되도록 기판 처리용 챔버를 구성하여, 기판상에 감압된 초임계 유체를 안정적으로 공급함으로써 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 처리용 챔버를 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명은, 상기 챔버 내부에 유체를 공급하는 유입구와, 상기 챔버 내부에 유입된 상기 유체가 기판을 향하여 분사되도록 하는 샤워헤드를 포함하여 구성된다. 이때의 상기 샤워헤드는, 상기 유입구로부터 유입된 상기 유체의 경로를 가로막아 감압시키는 막힘부와, 감압시킨 상기 유체가 기판을 향하여 분사되도록 하는 분사부로 구성된다.

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22-12-2016 дата публикации

SUBSTRATE PROCESS APPARATUS AND CLEANING METHOD

Номер: KR1020160147163A
Автор: PARK, JEONG YEONG, LEE, SUL, KIM, DAE MIN
Принадлежит:

The present invention relates to a cleaning method. According to the present invention, the cleaning method in which a substrate process apparatus having a spin head for supporting a substrate in a cup with an open upper part comprises the steps of supplying a cleaning solution to the spin head while rotating the spin head at first speed and then, rotating the spin head at second speed faster than the first speed. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) Supplying a cleaning solution to a spin head while rotating the spin head at first speed in a first direction (BB) Supplying the cleaning solution to the spin head while rotating the spin head at first speed in a second direction (CC) Supplying the cleaning solution to the spin head while rotating the spin head at second speed in the first direction (DD) Supplying the cleaning solution to the spin head while rotating the spin head at second speed in the second direction ...

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25-09-2017 дата публикации

DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE

Номер: KR1020170107131A
Автор: KIM, DAE MIN, PARK, SO YOUNG, LEE, HYO WON
Принадлежит:

According to an embodiment of the present invention, provided are a device and a method for liquid processing a substrate. The device for liquid processing a hydrophobic thin film formed on the substrate comprises: a substrate supporting unit supporting the substrate; and a liquid supplying unit supplying the liquid on the substrate supported by the substrate supporting unit. The liquid supplying unit includes: a first nozzle supplying a first liquid; and a second nozzle supplying a second liquid. The second liquid is discharged in the phase of mist onto the substrate. Therefore, various sizes of particles can be removed. COPYRIGHT KIPO 2017 (500) Control unit (A1,A2,A3) Organic solvent (BB) Chemical ...

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Номер записи: 44
13-05-2016 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SUPPORTING UNIT

Номер: KR1020160053342A
Автор: KIM, DAE MIN, PARK, MIN JUNG, AHN, EUN SEAM
Принадлежит:

Provided is a substrate treating apparatus capable of stably supplying electric power. The substrate treating apparatus according an embodiment of the present invention comprises: a housing providing a treatment space therein; and a supporting unit supporting and heating a substrate in the treatment space. The supporting unit includes: a supporting plate supporting the substrate; a heating element provided in the supporting plate; a terminal unit connected with an electric line applying electric power to the heating element; and a wiring unit connecting the heating element with the terminal unit. The heating element and the terminal unit are separated, and the wiring unit may connect the heating element unit with the terminal unit. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 45