ВЫСОКОНАДЕЖНЫЙ, С БОЛЬШИМ СРОКОМ СЛУЖБЫ ИСТОЧНИК ОТРИЦАТЕЛЬНО ЗАРЯЖЕННЫХ ИОНОВ

Изобретение относится к источнику отрицательно заряженных ионов. Заявленный источник ионов содержит плазменную камеру, микроволновой источник, устройство преобразования в отрицательно заряженные ионы, магнитный фильтр и приспособление для формирования пучка. Плазменная камера содержит газ, предназначенный для ионизации. Микроволновой источник посылает микроволны в плазменную камеру для ионизации газа с получением изотопов, включая высокотемпературные нейтральные атомы. Устройство преобразования в источник отрицательно заряженных ионов преобразует высокотемпературные нейтральные атомы в отрицательно заряженные ионы. Магнитный фильтр уменьшает температуру электронов между плазменной камерой и устройством преобразования в источник отрицательно заряженных ионов. Приспособление для формирования пучка извлекает отрицательно заряженные ионы. Техническим результатом является повышение надежности источника ионов и увеличение его срока службы. 3 н. и 22 з.п. ф-лы, 26 ил.