10-02-2013 дата публикации
Номер: RU2011132717A
Автор:
Селезнев Дмитрий Николаевич (RU),
Дугин Сергей Николаевич (RU),
Окс Ефим Михайлович (RU),
Стороженко Павел Аркадьевич (RU),
Кулевой Тимур Вячеславович (RU),
Гушенец Василий Иванович (RU),
Гуркова Элла Лазаревна (RU),
Алексеенко Олег Васильевич (RU),
Кропачев Геннадий Николаевич (RU),
ГЕРШКОВИЧ Ади (US),
Куйбида Ростислав Петрович (RU)
Принадлежит:
... 1. Способ непрерываемого производства пучка ионов карборана с постоянной самоочисткой ионного источника и компонент системы экстракции ионного имплантера, заключающийся в том, что в ионизационную камеру подают рабочее вещество на основе карборана и сильные окислители, такие как фтор, или кислород, или хлор, или химическое соединение, содержащее одно или несколько из данных окислителей, либо химическое соединение данных веществ с углеродом, или водородом, или углеродом и водородом, которые вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими систему экстракции ионов, и/или внутреннюю поверхность ионизационной камеры, и/или ее компонент, с образованием летучих соединений, отличающийся тем, что в ионизационную камеру подают рабочее вещество на основе карборана, в котором атомы сильных окислителей включены в молекулу рабочего вещества, данные сильные окислители, при определенных условиях высвобождаясь из молекулы рабочего вещества, вступают в химическую реакцию с продуктами, загрязняющими ...
Подробнее