12-10-2022 дата публикации
Номер: RU214114U1
Областью применения предлагаемой полезной модели является производство полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремниевых структурах с диэлектрической изоляцией (КСДИ). Техническим результатом предлагаемой полезной модели является уменьшение издержек за счет увеличения производительности труда при осаждении поликремния при пониженном давлении. Указанный технический результат достигается тем, что в отличие от известных, предлагаемая кремниевая структура с диэлектрической изоляцией, состоящая из соединенных плоскопараллельных кремниевых окисленных рабочей пластины и подложки, разделительных «тренч»-канавок для формирования карманов в виде многоугольников, сформированных из прямоугольников, вытравленных анизотропным реактивным травлением, слоем оксида кремния, слоем поликремния, заполняющим объем разделительных «тренч»-канавок, осажденном при пониженном давлении, углы прямоугольников, образующих многоугольники, скруглены с внутренним радиусом 2D≤R1≤4D, где D - ширина разделительной ...
Подробнее