21-09-2017 дата публикации
Номер: DE102006052718B4
Автор:
HUA YAPING,
JIANG LEYUE,
CAI YONGYAO,
LEUNG ALBERT,
ZHAO YANG,
Hua, Yaping,
Jiang, Leyue,
Cai, Yongyao,
Leung, Albert,
Zhao, Yang
Thermisches 3-Achsen-Beschleunigungsmeßgerät (200, 300, 400, 500), wobei das thermische Beschleunigungsmeßgerät zum Erfassen einer Beschleunigung entlang einer X-, Y- und Z-Achse betätigbar ist, die ein X-Y-Z kartesisches Koordinatensystem definieren, wobei das thermische 3-Achsen-Beschleunigungsmeßgerät (200, 300, 400, 500) umfaßt: ein Substrat (102, 202, 302, 402, 502), das eine ebene Oberfläche aufweist, die durch die X- und Y-Achse definiert ist; wenigstens einen Hohlraum (104, 204, 304, 404, 504), der in dem Substrat (102, 202, 302, 402, 502) ausgebildet ist, wobei der Hohlraum (104, 204, 304, 404, 504) eine Öffnung in der X-Y Ebene aufweist, wobei sich die X- und Y-Achse radial von einem Zentrum der Hohlraumöffnung erstrecken; ein Fluid, das in dem Hohlraum (104, 204, 304, 404, 504) angeordnet ist; eine Mehrzahl von ersten Heizelementen (108, 208, 308, 408, 508); und eine Mehrzahl von Temperaturabtastelementen (110, 210, 310, 410, 415, 417, 430, 440, 442, 510), wobei die Mehrzahl ...
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