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16-09-2015 дата публикации

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND CHEMICAL RECYCLING METHOD

Номер: KR0101553365B1
Автор: 황동순, 장동혁, 한종훈, 송기욱, 정재흠, 박성호
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버; 상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 어셈블리를 포함하고, 상기 재생 어셈블리는, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 상기 제 1 약액 및 상기 제 2 약액으로 분리하는 분리 부재; 일측이 상기 분리 부재와 연결되고 상기 분리 부재에서 증발된 상기 혼합액이 배출되는 감압라인; 일측이 상기 분리 부재에 연결되어, 상기 분리 부재에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 배출라인; 및 상기 배출라인에 위치되어 상기 제 1 약액과 순수 사이에 이온 교환이 수행되는 이온 교환부재를 포함한다.

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Номер записи: 1
12-12-2018 дата публикации

기판 처리 장치

Номер: KR0101927939B1
Автор: 유재령, 황동순, 강병철
Принадлежит: 세메스 주식회사

... 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버; 상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 유닛을 포함하고, 상기 재생 유닛은, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 분리하는 분리 유닛; 상기 분리 유닛과 상기 세정 챔버를 연결하며, 상기 혼합액이 상기 분리 유닛으로 유입되도록 하는 회수라인; 일측이 상기 분리 유닛과 연결되고, 상기 분리 유닛에서 증발된 혼합액이 배기되는 감압라인; 일측이 상기 분리 유닛에 연결되어, 상기 분리 유닛에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 제 1 배출라인을 포함하고, 상기 분리 유닛은, 내부 공간이 형성되는 제 1 하우징; 및 상기 내부 공간에 제공되어 상기 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 나누는 여과부재를 포함한다.

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Номер записи: 2