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12-07-2018 дата публикации

광 조사 방법 및 장치

Номер: KR0101877399B1
Автор: 원상운, 소이빈, 황성재, 이광진
Принадлежит: 에이피시스템 주식회사

... 본 발명은 공정제어 모듈의 상태를 모니터링하는 과정과, 모니터링되는 상태값과 기 설정된 기준값을 대비하는 과정과, 대비 결과에 따라 피조사물에 조사되는 광의 경로를 차단하는 과정을 수행하는 광 조사 방법으로서, 광을 조사하여 피조사물을 처리하는 공정 동안 공정제어 모듈의 하트비트를 모니터링하여 상기 공정제어 모듈의 작동상태의 이상발생 여부를 실시간으로 감지할 수 있고, 작동상태에 이상이 발생할 시 광의 경로를 차단하여 피조사물이 광에 장시간 노출되는 것을 방지할 수 있는 광 조사 방법 및 광 조사 장치가 제시된다.

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Номер записи: 1
08-02-2019 дата публикации

레이저 처리 장치 및 레이저 처리 방법

Номер: KR0101918727B1
Автор: 박헌욱, 소이빈, 조민영, 지호진
Принадлежит: 에이피시스템 주식회사

... 본 발명은 레이저 처리 장치 및 레이저 처리 방법에 관한 것으로, 복수개의 레이저 빔을 발진하는 레이저 발생유닛과, 레이저 빔의 진행경로 상에 배치되며, 레이저 빔을 가공하는 레이저 가공유닛 및 진행경로 상에서 레이저 발생유닛 및 레이저 가공유닛 중 적어도 어느 하나에 연결되는 레이저 관찰유닛을 포함하여, 레이저 빔을 검출하여 얻은 검출된 데이터와 설정된 레이저 발진 조건 데이터를 비교하여 레이저 빔의 발진 상태를 판단함으로써, 복수개의 레이저 소스의 발진 상태를 용이하게 파악 및 제어할 수 있다. 또한, 복수개 레이저 각각의 발진 제어가 용이하여, 피처리물의 처리 영역에 따른 레이저 빔의 발진 모드를 용이하게 혼용할 수 있다. 이처럼, 레이저를 발진 구성의 문제 해결을 즉각적으로 확인 및 보정하고, 복수개의 레이저의 발진방법을 필요에 따라 변경할 수 있어, 레이저 처리 공정의 생산성의 증가 효과를 얻을 수 있다.

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Номер записи: 2
20-12-2016 дата публикации

MURA QUANTIFYING SYSTEM AND METHOD BASED ON LASER CRYSTALLIZATION FACILITY

Номер: KR1020160145249A
Автор: SO, YI BIN, CHO, MIN YOUNG, CHO, SANG HEE, KIM, HYUN JUNG, KIM, SUNG HWAN
Принадлежит:

The present invention relates to a system and a method for quantifying mura. In the mura quantifying system based on laser crystallization facility including a laser crystallization apparatus, the mura quantifying system and method based on the laser crystallization facility have a technical essential in that a mura quantifying apparatus is provided in the laser crystallization facility to perform crystallization of a substrate by the laser crystallization apparatus, and to quantify the mura in real time while moving the crystallized substrate. Therefore, according to the present invention to this end, the mura base on the crystallized substrate is quantified in the facility including the laser crystallization apparatus, and a good/bad state is determined in real time with respect to a state of the crystallized substrate, thus a stable process management is implemented. COPYRIGHT KIPO 2016 (AA) Laser beam (line beam) (BB) Stage carrying direction (CC) Gate ...

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Номер записи: 3
08-12-2016 дата публикации

MURA QUANTIFICATION SYSTEM USING LASER CRYSTALLIZATION FACILITY WITH UV LIGHT SOURCE AND MURA QUANTIFICATION USING LASER CRYSTALLIZATION FACILITY WITH UV LIGHT SOURCE

Номер: KR1020160141303A
Автор: PARK, HUN WOOK, CHO, SANG HEE, SO, YI BIN, KIM, HYUN JUNG, YANG, SANG HEE
Принадлежит:

The present invention relates to Mura quantification system and method, and more specifically, to a Mura quantification system using a laser crystallization facility, in a Mura quantification system using a laser crystallization facility including a laser crystallization device, which performs crystallization of a substrate by using the laser crystallization device and includes a Mura quantification device provided inside the laser crystallization device so that the Mura quantification system quantifies Mura in real time using an ultraviolet (UV) light source while moving the crystallized substrate; and to a Mura quantification method using the laser crystallization facility. According to the present invention, the Mura quantification system acquires and quantifies only the Mura information on the substrate crystallized in the facility including the laser crystallization device, thereby obtaining reliability regarding Mura detection. Moreover, the Mura quantification system determines whether ...

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Номер записи: 4
12-07-2018 дата публикации

자외선 광원을 이용한 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템 및 자외선 광원을 이용한 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 방법

Номер: KR0101877274B1
Автор: 박헌욱, 조상희, 소이빈, 김현중, 양상희
Принадлежит: 에이피시스템 주식회사

... 본 발명은 무라 정량화 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 레이저 결정화 장치가 포함된 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템에 있어서, 상기 레이저 결정화 장치에 의해 기판의 결정화를 수행하며, 상기 결정화된 기판을 이동시키면서 자외선 광원을 이용하여 무라를 실시간으로 정량화할 수 있도록 무라 정량화 장치가 상기 레이저 결정화 설비 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템 및 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 자외선을 이용하여 레이저 결정화 장치를 포함하는 설비 내에서 결정화된 기판에 기인하는 무라 정보만을 획득하여 정량화함으로써, 무라 검출에 대한 신뢰성을 확보할 수 있고 결정화된 기판의 상태에 대해 실시간으로 양불을 판정하여 안정적인 공정 관리를 도모할 수 있는 이점이 있다.

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Номер записи: 5
29-05-2018 дата публикации

처리물 분석 장치 및 이를 포함하는 가공 장치, 처리물 분석 방법

Номер: KR0101862312B1
Автор: 조상희, 소이빈, 김민수
Принадлежит: 에이피시스템 주식회사

... 본 발명은 처리물 분석 장치 및 이를 포함하는 가공 장치, 처리물 분석 방법에 관한 것으로, 피처리물의 처리 공간을 형성하는 하우징과, 하우징에 배치되어 피처리물이 안착되는 스테이지, 스테이지 상에 광을 조사하는 광 조사부, 스테이지 상에 이격 배치되며, 광에 의해 가공된 피처리물의 라인별이미지, 영역별이미지 및 분광스펙트럼을 획득하는 검사부 및 검사부에 연결되어, 라인별이미지, 영역별이미지 및 분광스펙트럼을 이용하여 가공된 피처리물의 처리 상태를 판단하는 처리유닛을 포함하여, 가공된 피처리물의 표면 이미지 및 분광 스펙트럼을 획득하는 과정, 표면 이미지 및 분광 스펙트럼을 분석용 데이터로 처리하는 과정 및 분석용 데이터를 이용하여 가공된 피처리물의 처리 상태를 판단하는 과정을 수행함으로써, 처리물 상의 얼룩결함 발생 유무 및 처리 조건의 적합성을 용이하게 판단할 수 있다.

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Номер записи: 6
17-01-2019 дата публикации

레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템 및 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 방법

Номер: KR0101939058B1
Автор: 소이빈, 조민영, 조상희, 김현중, 김성환
Принадлежит: 에이피시스템 주식회사

... 본 발명은 무라 정량화 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 레이저 결정화 장치가 포함된 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템에 있어서, 상기 레이저 결정화 장치에 의해 기판의 결정화를 수행하며, 상기 결정화된 기판을 이동시키면서 무라를 실시간으로 정량화할 수 있도록 무라 정량화 장치가 상기 레이저 결정화 설비 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 시스템 및 레이저 결정화 설비에 기인하는 무라 정량화 방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 레이저 결정화 장치를 포함하는 설비 내에서 결정화된 기판에 기인하는 무라를 정량화하여 결정화된 기판의 상태에 대한 실시간으로 양불을 판정하여 안정적인 공정 관리를 도모할 수 있는 이점이 있다.

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Номер записи: 7
11-12-2015 дата публикации

LIGHT IRRADIATION METHOD AND APPARATUS

Номер: KR1020150139211A
Автор: WON, SANG OON, SO, YI BIN, HWANG, SUNG JAE, LEE, KWANG JIN
Принадлежит:

The present invention relates to a light irradiation method. The method includes the following steps: monitoring a state of a process control module; contrasting a monitored state value and a preset reference value; and blocking a path of light irradiated to an object in accordance with the contrast result. The present invention provides the light irradiation method and a light irradiation apparatus, which can monitor whether or not the malfunction of an operating state of the process control module occurs in real time by monitoring a heat beat of the process control module during the process of processing the object by irradiating the light, and prevent the object from being exposed to the light for a long time by blocking the path of the light when the abnormality occurs in the operating state by blocking the path of the light when the abnormality occurs in the operating state. COPYRIGHT KIPO 2016 (310) Oscillating unit (320) Oscillation control unit (410) Shutter unit (420) Shutter control ...

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Номер записи: 8
21-07-2017 дата публикации

WORKPIECE ANALYSIS APPARATUS, PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME, AND WORKPIECE ANALYSIS METHOD

Номер: KR1020170084895A
Автор: CHO, SANG HEE, SO, YI BIN, KIM, MIN SOO
Принадлежит:

The present invention relates to a workpiece analysis apparatus, a processing apparatus including the same, and a workpiece analysis method. According to the present invention, the apparatus comprises: a housing to form a processing space of a workpiece; a stage disposed in the housing to hold the workpiece; a light emission unit to emit light onto the stage; an inspection unit disposed on stage by being spaced apart from the same and acquiring an image by line, an image by region, and a spectroscopic spectrum of the workpiece processed by the light; and a processing unit connected to the inspection unit to determine a processing state of a processed workpiece using the image by line, the image by region, and the spectroscopic spectrum to process a process of acquiring a surface image and the spectroscopic spectrum of the processed workpiece, a process of processing the surface image and the spectroscopic spectrum into analysis data; and a process of using the analysis data to determine ...

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Номер записи: 9
03-11-2017 дата публикации

LASER PROCESSING APPARATUS AND LASER PROCESSING METHOD

Номер: KR1020170121944A
Автор: PARK, HUN WOOK, SO, YI BIN, CHO, MIN YOUNG, JI, HO JIN
Принадлежит:

The present invention relates to a laser processing apparatus and a laser processing method. According to the present invention, the apparatus comprises: a laser generation unit to oscillate a plurality of laser beams; a laser processing unit disposed on a progress path of the laser beam and processing the laser beam; and a laser observation unit connected to either or both of the laser generation and processing units on the progress path. An oscillation state of the laser beam is determined by comparing detected data acquired by detecting the laser beam with set laser oscillation condition data, thus being able to easily check and control an oscillation state of a plurality of laser sources. Moreover, oscillation of each of the laser sources is easily controlled, thereby being able to easily mix and use an oscillation mode of the laser beam in accordance with a processing region of an object to be processed. As such, a solution of oscillation configuration of laser is able to be promptly ...

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Номер записи: 10