Chemical mechanical polishing process

24-06-2014 дата публикации

Номер:

US8759218B2

Автор: Boon-Tiong Neo, Chin-Kun Lin, Lee-Lee Lau

Принадлежит: United Microelectronics Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/04 B24B37/042 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212 H01L21/7 H01L21/76 H01L21/768 H01L21/7684

IPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B4 B24B49 B24B49/B24B49/0 B24B49/03 C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

Получить PDF